[發(fā)明專利]利用表面等離子體共振效應(yīng)的檢測(cè)裝置

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010173028.7
• 申請(qǐng)日: 2010-05-07
• 公開（公告）號(hào): CN102235971A
• 公開（公告）日: 2011-11-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐坴暉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 徐坴暉
• 主分類號(hào): G01N21/43
• 分類號(hào): G01N21/43;G01N21/01
• 代理公司: 上海翼勝專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 31218
• 代理人: 翟羽

1.一種利用表面等離子體共振效應(yīng)的檢測(cè)裝置，適于檢測(cè)一待測(cè)物的共振角，其特征在于：所述利用表面等離子體共振效應(yīng)的檢測(cè)裝置包含：

一撓性連桿平臺(tái)，包含一輸入桿、一輸出桿、一連接桿與一固定桿，所述輸入桿的一端樞接于所述輸出桿的一端，所述連接桿的一端樞接于所述輸入桿的中心，所述連接桿另一端樞接于所述固定桿的一端，所述輸出桿的另一端則樞接于所述固定桿的另一端，其中所述輸入桿的自由端適于相對(duì)所述固定桿而進(jìn)行線性運(yùn)動(dòng)，所述輸出桿則適于以連接至所述固定桿的一端為軸心而旋轉(zhuǎn)；

一光源組，配置于所述撓性連桿平臺(tái)上，并相對(duì)所述輸出桿而固定，其中所述光源組適于提供一偏振光；

一三棱鏡，配置于所述撓性連桿平臺(tái)上，并相對(duì)所述固定桿而固定，所述三棱鏡具有一光入射面、一光出射面與一底面，且所述三棱鏡位于所述偏振光的光路徑上；

一金屬薄膜，鍍于所述三棱鏡的所述底面上，其中當(dāng)所述偏振光由所述光入射面入射所述棱鏡，并照射至所述金屬薄膜后，所述偏振光會(huì)被反射而從所述光出射面出射，而所述待測(cè)物是配置于所述金屬薄膜的表面上；以及

一光偵測(cè)單元，配置于所述偏振光從所述三棱鏡出射后的光路徑上，適于偵測(cè)所述偏振光從所述棱鏡出射后的光強(qiáng)度。

2.如權(quán)利要求1所述的利用表面等離子體共振效應(yīng)的檢測(cè)裝置，其特征在于：所述光源組包含：

一光源，適于提供一激光；以及

一偏光片，配置于所述光源與所述棱鏡之間，并位于所述激光的光路徑上，所述偏光片適于將所述激光轉(zhuǎn)換為所述偏振光。

3.如權(quán)利要求2所述的利用表面等離子體共振效應(yīng)的檢測(cè)裝置，其特征在于：所述光源組另包含：

一第一分光鏡，配置于所述偏光片與所述三棱鏡之間，其中當(dāng)所述偏振光射入所述第一分光鏡后，部分所述偏振光適于被所述第一分光鏡反射而成為一參考光束，所述偏振光的其余部分則穿透所述第一分光鏡而射入所述三棱鏡；

一搖擺相位延遲鏡片組，配置于所述參考光束的光路徑上；以及

一旋轉(zhuǎn)偏光片，配置于所述參考光束的光路徑上，并位于所述第一分光鏡與所述搖擺相位延遲鏡片組之間，其中所述旋轉(zhuǎn)偏光片適于旋轉(zhuǎn)以改變其與所述搖擺相位延遲鏡片組之間的距離。

4.如權(quán)利要求3所述的利用表面等離子體共振效應(yīng)的檢測(cè)裝置，其特征在于：另包含一第二分光鏡，配置于所述三棱鏡與所述光偵測(cè)單元之間，并位于所述參考光束以及所述偏振光的光路徑上，所述第二分光鏡適于反射所述參考光束，以使所述參考光束射至所述光偵測(cè)單元。

5.如權(quán)利要求4所述的利用表面等離子體共振效應(yīng)的檢測(cè)裝置，其特征在于：另包含一平面反射鏡，配置于所述撓性連桿平臺(tái)上，并相對(duì)所述固定桿而固定，其中所述參考光束在通過所述搖擺相位延遲鏡片組之后，是通過所述平面反射鏡將其反射至所述第二分光鏡。

6.如權(quán)利要求3所述的利用表面等離子體共振效應(yīng)的檢測(cè)裝置，其特征在于：所述光偵測(cè)單元包含：

一檢偏器，是所述偏振光與參考光束組合成具有相同偏振方向的兩道光，以形成一光干涉條紋影像；以及

一光接收器，接收并記錄所述光干涉條紋影像結(jié)果。

7.如權(quán)利要求6所述的利用表面等離子體共振效應(yīng)的檢測(cè)裝置，其特征在于：所述光偵測(cè)單元另包含一透鏡組，配置于所述檢偏器與所述光接收器之間，適于放大經(jīng)所述檢偏器所產(chǎn)生所述光干涉條紋影像。

8.如權(quán)利要求1所述的利用表面等離子體共振效應(yīng)的檢測(cè)裝置，其特征在于：所述偏振光適于平行所述輸出桿而入射所述三棱鏡。

9.如權(quán)利要求1所述的利用表面等離子體共振效應(yīng)的檢測(cè)裝置，其特征在于：所述偏振光入射所述三棱鏡的光路徑與所述輸出桿之間夾一角度。

10.如權(quán)利要求1所述的利用表面等離子體共振效應(yīng)的檢測(cè)裝置，其特征在于：另包含一線性致動(dòng)組，固定于所述撓性連桿平臺(tái)上，所述線性致動(dòng)組適于使所述輸入桿的自由端產(chǎn)生線性位移。