[發(fā)明專利]一種調(diào)整洛艾鏡裝置中洛艾鏡與光柵基底垂直度的方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010172802.2
• 申請日: 2010-05-17
• 公開（公告）號: CN101819323A
• 公開（公告）日: 2010-09-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 孔鵬;李文昊;巴音賀希格;齊向東;唐玉國
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08;G02B5/18
• 代理公司: 長春菁華專利商標(biāo)代理事務(wù)所 22210
• 代理人: 劉樹清

1.一種調(diào)整洛艾鏡裝置中洛艾鏡與光柵基底垂直度的方法，其特征在于：步驟一、配備一套平面全息光柵洛艾鏡干涉裝置，包括光源激光器(1)、第一平面反射鏡(2)、第二平面反射鏡(3)、空間濾波器(4)、準(zhǔn)直反射鏡(5)、洛艾鏡(6)和光柵基底(7)，光源激光器(1)發(fā)出的激光束經(jīng)第一平面反射鏡(2)和第二平面反射鏡(3)反射到達(dá)空間濾波器(4)，激光束經(jīng)過空間濾波器(4)后成為發(fā)散的球面光波，再經(jīng)準(zhǔn)直反射鏡(5)反射成為平行光束，平行光束的一部分經(jīng)洛艾鏡(6)反射后與另一部分平行光束交匯形成干涉場(8)，光柵基底(7)置于干涉場(8)內(nèi)，光柵基底(7)的曝光面與洛艾鏡(6)的反射面之間的夾角φ＝90°，θ為反射光線同洛艾鏡(6)所成夾角，同時也是入射光線同洛艾鏡(6)所成夾角，它等于形成干涉場的兩束光之間的夾角即干涉夾角的一半，稱為干涉半角，它決定了干涉場的周期；步驟二、制備一個大平板(9)，大平板(9)的上表面刻有用計算機(jī)繪制的兩條相互垂直的直線，即第一直線(10)和第二直線(11)，將大平板(9)固定在五維調(diào)整裝置(14)上，通過調(diào)整五維調(diào)整裝置(14)，大平板(9)可以上下、前后、左右、旋轉(zhuǎn)、俯仰五個方向自由運動；步驟三、將固定裝有大平板(9)的五維調(diào)整裝置(14)、第一激光器(12)和第二激光器(13)置于平面全息光柵制作所用的洛艾鏡干涉裝置中洛艾鏡(6)和光柵基底(7)所在的部位，使第一激光器(12)的出射光軸、第二激光器(13)的出射光軸以及大平板(9)的上表面位于同一水平面內(nèi)，使第一激光器(12)的出射光經(jīng)洛艾鏡(6)反射后的反射光按原路返回第一激光器(12)的出光孔，調(diào)整大平板(9)使第一直線(10)與第一激光器(12)的出射光束重合，調(diào)整第二激光器(13)使其出射光束沿第二直線(11)入射在光柵基底(7)表面，調(diào)整光柵基底(7)使第二激光器(13)的出射光束經(jīng)光柵基底(7)的反射光束沿第二直線(11)返回第二激光器(13)的出光孔；至此，洛艾鏡(6)與光柵基底(7)的垂直度調(diào)整完畢。