[發(fā)明專利]平移式基板清洗裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010171124.8
• 申請(qǐng)日: 2010-05-06
• 公開（公告）號(hào): CN101954358A
• 公開（公告）日: 2011-01-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊明生;王銀果;劉惠森;范繼良;王勇;王曼媛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司
• 主分類號(hào): B08B3/02
• 分類號(hào): B08B3/02;B08B11/04
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202
• 代理人: 張艷美;郝傳鑫

1.一種平移式基板清洗裝置，適用于對(duì)平板狀的基板進(jìn)行清洗，所述平移式基板清洗裝置包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)及清洗機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)所述清洗機(jī)構(gòu)對(duì)所述平板狀的基板進(jìn)行清洗，其特征在于：

所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括固定座、電機(jī)、偏心輪及往復(fù)座，所述固定座具有平行設(shè)置的上底板及下底板，所述上底板與所述下底板之間形成安裝區(qū)，所述往復(fù)座滑動(dòng)地安裝于所述下底板上，所述電機(jī)安裝于所述上底板上并位于所述安裝區(qū)內(nèi)，所述偏心輪連接于所述電機(jī)與所述往復(fù)座之間并平行于所述上底板及所述下底板，所述電機(jī)通過所述偏心輪驅(qū)動(dòng)所述往復(fù)座作往復(fù)運(yùn)動(dòng)；

所述清洗機(jī)構(gòu)包括固定架、輸入總管及安裝于所述固定架上的若干管道組，所述管道組等間距排列且分別與所述輸入總管連通，所述管道組上設(shè)置有朝向基板的用于噴灑清洗液的噴嘴，所述固定架與所述往復(fù)座固定連接，所述固定架懸置于基板上方并與所述基板平行。

2.如權(quán)利要求1所述的平移式基板清洗裝置，其特征在于：所述固定座的下底板上開設(shè)有沿所述固定架方向延伸的導(dǎo)槽，所述往復(fù)座的下端安裝有滑動(dòng)卡設(shè)于所述導(dǎo)槽內(nèi)的第一軸承，所述往復(fù)座的上端開設(shè)有與所述導(dǎo)槽相垂直的軸承槽，所述偏心輪上設(shè)置有第二軸承，所述第二軸承的中心軸平行于所述偏心輪的軸向，所述第二軸承容置于所述軸承槽內(nèi)與所述軸承槽滾動(dòng)連接，所述偏心輪通過所述第二軸承驅(qū)動(dòng)所述往復(fù)座沿所述導(dǎo)槽作直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)。

3.如權(quán)利要求2所述的平移式基板清洗裝置，其特征在于：所述導(dǎo)槽的延伸方向與所述基板的傳輸方向垂直。

4.如權(quán)利要求1所述的平移式基板清洗裝置，其特征在于：所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括連接座，所述連接座固定連接于所述往復(fù)座與所述固定架之間。

5.如權(quán)利要求1所述的平移式基板清洗裝置，其特征在于：所述管道組包括分支管及噴嘴管，所述分支管的一端與所述輸入總管連通，所述分支管的另一端與所述噴嘴管連通，所述噴嘴管與所述固定架固定連接，所述噴嘴均勻設(shè)置于所述噴嘴管上，全部所述管道組的噴嘴管等間距排列且位于與所述基板平行的一個(gè)面上。

6.如權(quán)利要求1所述的平移式基板清洗裝置，其特征在于：還包括引導(dǎo)架，所述引導(dǎo)架上設(shè)有與所述導(dǎo)槽相平行的引導(dǎo)槽，所述引導(dǎo)架對(duì)稱設(shè)置于所述固定架的兩側(cè)，所述固定架上設(shè)置有與所述導(dǎo)槽相平行的連接桿，所述連接桿滑動(dòng)地穿過所述引導(dǎo)架的引導(dǎo)槽。

7.如權(quán)利要求6所述的平移式基板清洗裝置，其特征在于：所述引導(dǎo)架包括支架及樞接于所述支架上的上導(dǎo)向輪及下導(dǎo)向輪，所述上導(dǎo)向輪與所述下導(dǎo)向輪之間形成所述引導(dǎo)槽。