[發明專利]一種硅基合金旋轉靶材及其制備方法無效
| 申請號： | 201010170534.0 | 申請日： | 2010-05-05 |
| 公開（公告）號： | CN101921988A | 公開（公告）日： | 2010-12-22 |
| 發明（設計）人： | 周其剛;黃德燕;馬敬山 | 申請（專利權）人： | 廣州市尤特新材料有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34;B22D18/06 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 510880 廣東省廣州*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 合金 旋轉 及其 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種硅基合金旋轉靶材，其特征在于以真空熔煉技術制備硅基合金旋轉靶材。
2.一種硅基合金旋轉靶材，其特征在于制備硅基合金旋轉靶材運用鑄造成型技術。
3.一種硅基合金旋轉靶材，其特征在于硅基合金旋轉靶材與襯管間的焊接技術。
4.一種硅基合金旋轉靶材，其特征在于包括焊接和不銹鋼管上的支撐的管狀部分。
5.一種硅基合金旋轉靶材，其特征在于包含一個鑄造用空心石墨模具的設計。
6.一種硅基合金旋轉靶材，其特征在于石墨空心模具的內徑尺寸范圍在150毫米至158毫米，外徑尺寸范圍在170毫米至176毫米。
7.一種硅基合金旋轉靶材，其特征在于熔液漏斗為圓盤設計，圓盤中有溝槽，槽底有兩個大小一樣的孔，使合金熔液均勻澆鑄。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于廣州市尤特新材料有限公司，未經廣州市尤特新材料有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201010170534.0/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 同類專利
- 專利分類
