[發(fā)明專利]一種多噴頭射頻等離子體發(fā)生器

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010169555.0
• 申請(qǐng)日: 2010-05-12
• 公開（公告）號(hào): CN102244970A
• 公開（公告）日: 2011-11-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王守國(guó)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院嘉興微電子儀器與設(shè)備工程中心
• 主分類號(hào): H05H1/30
• 分類號(hào): H05H1/30
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種多噴頭射頻等離子體發(fā)生器，尤其是安裝在一個(gè)平面支架上的多個(gè)等離子體噴口向外噴射等離子體束流的系統(tǒng)。

背景技術(shù)

常壓等離子體技術(shù)是在近年才迅速發(fā)展起來(lái)的、并已得到廣泛應(yīng)用的新技術(shù)，它可應(yīng)用于：(1)表面清洗(例如清洗表面生化污染、表面有機(jī)污染)。(2)材料表面的改性。(3)表面消毒和滅菌等等。

在傳統(tǒng)上，常壓等離子體一般是采用高頻高壓放電，電源輸出電壓高，所產(chǎn)生的等離子體是絲狀放電，不能產(chǎn)生輝光放電，不適合對(duì)敏感材料的表面處理等；另外，常壓輝光等離子體噴槍一般所采用的電源是13.56MHz，該種電源體積大，價(jià)格高，不便用于多個(gè)發(fā)生器束流放電，從而限制了常規(guī)射頻等離子體噴槍的應(yīng)用范圍，更不適合對(duì)大面積材料表面處理的要求。

本發(fā)明介紹了一種多噴頭射頻等離子體發(fā)生器，是采用多個(gè)放電單元的集成，每個(gè)放電管對(duì)應(yīng)一個(gè)供電電源，每個(gè)電源的放電頻率是6.78MHz，該射頻電源功耗僅為十幾瓦到幾十瓦，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，更易于安裝，和多個(gè)等離子體放電管構(gòu)成了一種新型的多噴頭的等離子體發(fā)生器。

發(fā)明內(nèi)容

為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明公開了一種多噴頭射頻等離子體發(fā)生器，包括多個(gè)射頻電源和多個(gè)等離子體噴管等，其特征為：多個(gè)等離子體噴管是安裝在一個(gè)平面支架上，多個(gè)噴管的噴口構(gòu)成一個(gè)水平面，其中每個(gè)等離子體噴管是由一個(gè)包覆金屬管電極的石英管以及石英管噴口外的一個(gè)圓環(huán)電極構(gòu)成，石英管所包覆的管電極的一端是在石英管內(nèi)，另一端是在管外，一個(gè)射頻電源分別與石英管中的內(nèi)電極和其外電極連接，石英管所包覆的金屬管電極與一個(gè)進(jìn)氣管連接，進(jìn)氣管的另一端是通過(guò)氣體減壓閥與氣瓶連接，當(dāng)氣體通過(guò)石英管所包覆的金屬管電極的端部時(shí)電離生成等離子體，并由石英管的噴口噴出。

所述的一種多噴頭射頻等離子體發(fā)生器，包括多個(gè)射頻電源和多個(gè)等離子體噴管等，其特征為：每個(gè)等離子體噴管是安裝在一個(gè)平面支架上，多個(gè)噴管的噴口在同一個(gè)水平面上。

所述的一種多噴頭射頻等離子體發(fā)生器，包括多個(gè)射頻電源和多個(gè)等離子體噴管等，其特征為：每個(gè)等離子體噴管是由一個(gè)包覆金屬管電極的石英管以及石英管噴口外的一個(gè)圓環(huán)電極構(gòu)成，石英管所包覆的金屬管端部離石英管的噴口的距離范圍是3-10毫米，石英管噴口外的金屬圓環(huán)電極是包覆在石英管外接近噴口處。

所述的一種多噴頭射頻等離子體發(fā)生器，包括多個(gè)射頻電源和多個(gè)等離子體噴管等，其特征為：每個(gè)石英管的內(nèi)外電極分別與一個(gè)射頻電源連接，射頻電源的頻率是6.78MHz，功率范圍是10-30W。

所述的一種多噴頭射頻等離子體發(fā)生器，包括多個(gè)射頻電源和多個(gè)等離子體噴管等，其特征為：石英管所包覆的金屬管電極與一個(gè)進(jìn)氣管連接，進(jìn)氣管的另一端是通過(guò)氣體減壓閥與氣瓶連接，氣體是采用氬氣。

所述的一種多噴頭射頻等離子體發(fā)生器，包括多個(gè)射頻電源和多個(gè)等離子體噴管等，其特征為：在氣體通過(guò)石英管所包覆的金屬管電極噴口位置時(shí)被電離形成等離子體，并形成向外噴射的等離子體束流。

本發(fā)明提供一種多噴頭射頻等離子體發(fā)生器，與其它類型等離子體發(fā)生器比較，其優(yōu)點(diǎn)是：(1)，多個(gè)單元射頻等離子體發(fā)生器集成可以產(chǎn)生較大面積的輝光放電；(2)，設(shè)備易于安裝，適合對(duì)大面積熱敏感材料的表面處理。

本發(fā)明的主要用途是：對(duì)平面熱敏感材料的表面改性、表面清洗等表面處理。

具體實(shí)施方式

圖1為本發(fā)明實(shí)施例一種多噴頭射頻等離子體發(fā)生器側(cè)視結(jié)構(gòu)圖。

圖2為本發(fā)明實(shí)施例一種多噴頭射頻等離子體發(fā)生器俯視結(jié)構(gòu)圖。

圖3為本發(fā)明實(shí)施例單個(gè)等離子體發(fā)生器結(jié)構(gòu)剖視示意圖。

請(qǐng)參閱圖1、圖2和圖3，多個(gè)等離子體噴管103是安裝在一個(gè)平面100支架上，多個(gè)噴管103的噴口是在同一個(gè)水平面，其中每個(gè)等離子體噴管103是由石英管構(gòu)成，在石英管103內(nèi)包覆一個(gè)金屬管電極105，在石英管103的端部外設(shè)有一個(gè)圓環(huán)電極104，石英管103的內(nèi)外電極105和104分別通過(guò)連接電纜102與一個(gè)射頻電源101的兩個(gè)輸出端連接；金屬管電極105在石英管外的另一端與一個(gè)進(jìn)氣管109連接，進(jìn)氣管109的另一端是通過(guò)氣體減壓閥108與氣瓶107連接，當(dāng)氣體通過(guò)石英管103所包覆的金屬管電極105端部時(shí)電離生成等離子體106，該等離子體106由石英管103的噴口噴出。

平面支架100是材料絕緣材料，例如：用工程塑料或有機(jī)玻璃等制成；金屬電極管105是用不銹鋼管制成，圓環(huán)電極104可以用鋁或銅加工制成。射頻電源的頻率是6.78MHz，功率范圍是10-30W。

上面參考附圖結(jié)合具體的實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了描述，然而，需要說(shuō)明的是，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可以對(duì)上述實(shí)施例做出許多改變和修改，這些改變和修改都落在本發(fā)明的權(quán)利要求限定的范圍內(nèi)。