[發(fā)明專利]一種磁隧道結(jié)氧化鋁隧穿層的制備方法無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201010168591.5 | 申請(qǐng)日： | 2010-05-11 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN101833956A | 公開（公告）日： | 2010-09-15 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 荊玉蘭;唐曉莉;張懷武;蘇樺;鐘智勇 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 電子科技大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | G11B5/84 | 分類號(hào)： | G11B5/84 |
| 代理公司： | 暫無(wú)信息 | 代理人： | 暫無(wú)信息 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 國(guó)省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 隧道 氧化鋁 隧穿層 制備 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種磁隧道結(jié)隧穿層的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
①先鍍制所需隧穿層總厚度2/5的金屬Al層；
②鍍制完成后，放入氧氬比為1∶2的混合氣體中，將金屬Al層氧化為Al2O3；
③當(dāng)步驟②氧化完成后，在生成的Al2O3薄膜上繼續(xù)沉積所需隧穿層總厚度3/5的金屬Al層；
④當(dāng)步驟③鍍制完成后，同樣在氧氬比為1∶2的混合氣體中，將步驟③鍍制的金屬Al層氧化為Al2O。
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G11 信息存儲(chǔ)
G11B 基于記錄載體和換能器之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)而實(shí)現(xiàn)的信息存儲(chǔ)
G11B5-00 借助于記錄載體的激磁或退磁進(jìn)行記錄的；用磁性方法進(jìn)行重現(xiàn)的；為此所用的記錄載體
G11B5-004 .磁鼓信息的記錄、重現(xiàn)或抹除
G11B5-008 .磁帶或磁線信息的記錄、重現(xiàn)或抹除
G11B5-012 .磁盤信息的記錄、重現(xiàn)或抹除
G11B5-02 .記錄、重現(xiàn)或抹除的方法及其讀、寫或抹除的電路
G11B5-10 .磁頭的外殼或屏蔽罩的結(jié)構(gòu)或制造
G11B 基于記錄載體和換能器之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)而實(shí)現(xiàn)的信息存儲(chǔ)
G11B5-00 借助于記錄載體的激磁或退磁進(jìn)行記錄的；用磁性方法進(jìn)行重現(xiàn)的；為此所用的記錄載體
G11B5-004 .磁鼓信息的記錄、重現(xiàn)或抹除
G11B5-008 .磁帶或磁線信息的記錄、重現(xiàn)或抹除
G11B5-012 .磁盤信息的記錄、重現(xiàn)或抹除
G11B5-02 .記錄、重現(xiàn)或抹除的方法及其讀、寫或抹除的電路
G11B5-10 .磁頭的外殼或屏蔽罩的結(jié)構(gòu)或制造
