[發明專利]一種具有高啟動電壓的磁控濺射脈沖電源

無效

• 申請號: 201010166751.2
• 申請日: 2010-05-07
• 公開（公告）號: CN101824602A
• 公開（公告）日: 2010-09-08
• 發明（設計）人: 陳桂濤;孫強;姬軍鵬;施輝;李巖
• 申請（專利權）人: 西安理工大學
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;H03K3/00
• 代理公司: 西安弘理專利事務所 61214
• 代理人: 羅笛

1.一種具有高啟動電壓的磁控濺射脈沖電源，其特征在于，

包括依次連接的DC輸入(1)、高壓啟動模塊(2)、脈沖發生模塊(3)和續流模塊(4)，續流模塊(4)與磁控濺射裝置中的基片(6)和靶材(7)連接，高壓啟動模塊(2)還與異常檢測模塊(5)連接，異常檢測模塊(5)與設置在基片(6)和靶材(7)之間的磁控濺射的等離子體(8)連接，

高壓啟動模塊(2)用于產生磁控濺射啟動時所需的脈沖高壓；脈沖發生模塊(3)用于產生脈沖偏壓；續流模塊(4)用于將高壓脈沖施加到磁控濺射裝置中的基片(6)和靶材(7)上；異常檢測模塊(5)用于檢測該等離子體(8)負載電流的變化，控制二次高壓啟動，

所述的高壓啟動模塊(2)的電路是：儲能電感L_s和升壓開關管Q串聯連接，儲能電感L_s與DC輸入(1)連接，電容C₁并聯在升壓開關管Q上，濾波電容C₂和假負載R并聯后與二極管D串聯連接，濾波電容C₂和假負載R及二極管D構成的電路與升壓開關管Q并聯連接；

所述的脈沖發生模塊(3)的電路是：開關管Q₁和開關管Q₂串聯連接，開關管Q₃和開關管Q₄串聯連接，開關管Q₁和Q₃的輸入端與二極管D連接，開關管Q₂和Q₄的輸出端與DC輸入(1)連接；

所述的續流模塊(4)的電路是：包括并聯的電感L₁和L₂，在電感L₁上反向并聯有續流二極管D₁，在電感L₂上反向并聯有續流二極管D₂，

脈沖發生模塊(3)中的開關管Q₁的輸出端通過電感L₁與基片(6)連接，脈沖發生模塊(3)中的開關管Q₃的輸出端通過電感L₂與靶材(7)連接；

異常檢測模塊(5)的電路是：包括電流傳感器和異常信號產生單元，電流傳感器設置于等離子體(8)中，并通過異常信號產生單元與高壓啟動模塊(2)連接；

異常檢測模塊(5)的控制過程是：當電流傳感器檢測到等離子體(8)的負載電流異常時，異常信號產生單元產生一個異常信號用來封鎖脈沖發生模塊(3)；此后，電流傳感器將對離子體(8)的負載電流進行定期檢測，直到電流傳感器檢測等離子體(8)的負載電流正常后，再由異常信號產生單元發出一個重新啟動信號給高壓啟動模塊(2)，對脈沖電源二次高壓啟動。