[發明專利]基板收納容器

有效

• 申請號: 201010166075.9
• 申請日: 2007-05-21
• 公開（公告）號: CN101823604A
• 公開（公告）日: 2010-09-08
• 發明（設計）人: 佐佐木茂伸;大堀伸一;山岸裕樹
• 申請（專利權）人: 信越聚合物株式會社
• 主分類號: B65D85/86
• 分類號: B65D85/86;H01L21/673
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 朱美紅;楊楷

本申請是發明名稱為“基板收納容器”、國際申請日為2007年5月21日并且申請號為200780020195.4的發明專利申請的分案申請。?

技術領域

本發明涉及在收納半導體晶片、掩模玻璃等基板的容器主體的開口部嵌入蓋體時、通過墊圈將這些容器主體和蓋體之間密封的基板收納容器。?

背景技術

近年來，由半導體晶片構成的基板大口徑化，從200mm型基板擴大到300mm型基板，以收納于專用的基板收納容器的狀態被安置于既定的加工裝置上而從工廠出貨。如圖18局部地表示的那樣，這種基板收納容器包括將由半導體晶片構成的基板整齊收納的前開口盒式的容器主體、裝卸自如地嵌入到該容器主體的開口正面部的蓋體、以及發生變形而將這些容器主體和蓋體之間密封的彈性墊圈，隨著基板的大口徑化而變得大型化(參照專利文獻1)。?

基板收納容器的容器主體使用成形材料而注射成形為既定壁厚，以能夠確保一定強度，在容器主體的內部兩側、換言之在兩側壁內表面分別并列設置有水平支承基板的多個齒，在底部兩側分別經由賦予剛性的厚壁的增強肋而一體形成與開口正面部周緣相連的底軌。該容器主體的頂部一體形成有機器人凸緣用的安裝肋，在開口正面部的周緣兩側分別形成有蓋體用的卡止肋，在兩側壁外表面一體形成有操作把手用的裝配肋。?

蓋體形成為與容器主體的開口正面部對應的形態，在兩側部分別可擺動地軸支承與容器主體的卡止肋卡止的卡止片。此外，墊圈使用彈性體材料形成，包括與蓋體的周緣部嵌合的框形的基體、和從該基體向外方以逐漸變細的方式伸長且在容器主體的開口正面部的密封面與蓋體之間壓縮變形的撓性密封片。?

專利文獻1：日本特開2002-68364號公報?

以往的基板收納容器如上述那樣構成，因此，當容器主體、墊圈的尺寸偏差累積時，難以將容器主體與蓋體之間的整周密封，存在空氣等進入容器主體內而污染基板這樣的問題。?

對于該問題進行說明，以往的基板收納容器的容器主體為確保一定強度而成形為既定厚度的壁厚，并且分別形成有齒、底軌、增強肋、安裝肋、卡止肋以及裝配肋，因此，無法使壁厚均勻，在成形時容易招致縮坑(sink)、變形等問題。而且，以往的容器主體中，賦予剛性用的增強肋的前部與容器主體開口正面部的周緣等相連結而壁厚地一體形成，隨著壁厚的增加，成形時開口正面部出現縮坑，結果，有可能在開口正面部的密封面產生凹坑。?

另一方面，由于墊圈使用彈性體材料成形，因此基本上存在形狀穩定性差、由于保管時的載荷、成形后的收縮等而容易發生變形這樣的特征。尤其是將墊圈的密封片成形為逐漸變細的形式，因此存在在制造時密封片的末端部比根部先冷卻，密封片的末端部容易變形為波形這樣的特征。?

由這樣的容器主體的壁厚不均勻引起的尺寸偏差、隨著墊圈的形狀穩定性變差而產生的尺寸偏差累積時，難以將容器主體的開口正面部與蓋體之間的整周強力密封，產生空氣等從外部經由較弱的密封部分進入到容器主體內，導致基板污染這樣的大問題。?

發明內容

本發明是鑒于上述問題而作出的，其目的在于提供一種可將容器主體與蓋體之間適當密封、且可抑制空氣等進入到容器主體內而使基板污染的問題的基板收納容器。?

在本發明中，為了解決上述問題，提供一種基板收納容器，包括收納基板的容器主體、嵌入該容器主體的開口部的蓋體、將這些容器主體和蓋體之間密封的能壓縮變形的墊圈，其特征在于，在容器主體的開口部內周和蓋體的某一方形成墊圈用的裝配部，并在另一方形成墊圈用的密封面，密封面的平坦度的最大值與最小值之差小于0.50mm，墊圈包括裝配于裝配部上的基體、沿密封面方向從該基體伸長的撓性密封片、形成在該密封片上且與密封面接觸的接觸部。?

另外，優選的是，將蓋體嵌入容器主體的開口部時墊圈的壓縮變?形所必需的壓縮力為35～100N的范圍。?

此外，可以使基板為直徑300mm以上的半導體晶片，容器主體形成為收納直徑300mm以上的半導體晶片的前開口盒，將其正面作為開口部，在開口部的周緣附近形成多個肋。?

而且，可以設計成，在容器主體的開口部的周緣兩側分別形成有卡止肋，在蓋體的兩側部分別可旋轉地支承有卡止片，所述卡止片卡掛于容器主體的卡止肋。?

另外，可以設計成，密封片的末端部為接觸部，從密封片的根部到接觸部的最末端的寬度W在5～10mm的范圍。?

可以將密封片的末端部向與密封片的伸長方向交叉的方向彎曲而形成接觸部，將從密封片的根部到接觸部最末端之間的寬度W設在5～10mm的范圍。?