[發明專利]制造氣體夾雜物缺陷減少的化學機械拋光墊拋光層的方法

有效

• 申請號: 201010165157.1
• 申請日: 2010-04-22
• 公開（公告）號: CN101870093A
• 公開（公告）日: 2010-10-27
• 發明（設計）人: J·埃斯本謝德;A·M·杰格;P·利伯斯;S·J·諾凡伯;P·J·薩凱蒂;J·特雷西;D·弗巴羅;M·E·沃特金斯
• 申請（專利權）人: 羅門哈斯電子材料CMP控股股份有限公司
• 主分類號: B24D18/00
• 分類號: B24D18/00;B24D3/00
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 陳哲鋒;周承澤

1.一種用來形成化學機械拋光墊拋光層的方法，所述方法包括：

提供模具；

提供液體預聚物材料；

提供處于惰性載氣中的大量微球體；

提供惰性吹掃氣體；

提供混合頭組件，該組件包括外殼，所述外殼具有至少一個外殼入口、一個外殼出口，旋轉混合器，該旋轉混合器包括延伸到外殼以外的軸；所述軸具有從中通過的通道，所述通道具有軸通道入口和軸通道出口，以便于所述惰性載氣和惰性吹掃氣體從外殼排出；

在所述旋轉混合器的作用下，在所述外殼中將所述液體預聚物材料與處于惰性載氣中的大量微球體混合，形成液體預聚物和微球體的混合物；

將所述惰性吹掃氣體送入外殼；

通過所述軸通道將惰性載氣和惰性吹掃氣體從外殼排出；

通過外殼出口將所述液體預聚物與微球體的混合物轉移到模具；

使所述液體預聚物和微球體的混合物在模具中固化，形成餅狀物；

由所述餅狀物得到化學機械拋光墊拋光層。

2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述液體預聚物材料包括含多異氰酸酯的材料。

3.如權利要求2所述的方法，其特征在于，所述液體預聚物材料還包含固化劑。

4.如權利要求1所述的方法，該方法還包括：

提供迷宮式密封件，所述迷宮式密封件與所述外殼鄰接，所述軸延伸通過所述迷宮式密封件；

通過所述迷宮式密封件將所述惰性吹掃氣體送入所述外殼中。

5.如權利要求4所述的方法，其特征在于，所述迷宮式密封件是徑向迷宮式密封件。

6.如權利要求1所述的方法，該方法還包括：

將所述餅狀物切割成多個化學機械拋光墊拋光層。

7.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述餅狀物與采用相同方法但是不提供惰性吹掃氣體的情況下制得的餅狀物相比，前者包含較少的夾帶的氣體夾雜物缺陷。

8.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述惰性載氣是二氧化碳。

9.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述惰性吹掃氣體是二氧化碳。

10.一種用來形成化學機械拋光墊拋光層的混合頭組件，所述組件包括：

混合頭組件外殼，其包括外殼入口和外殼出口；

安裝于所述外殼的迷宮式密封件，所述迷宮式密封件包括：

密封塊，其包括惰性吹掃氣體入口和氣體出口；

裝配在所述密封塊上的接合定子；

介于所述密封塊和接合定子之間的接合定子O形環，所述接合定子O形環將所述接合定子固定于密封塊；

旋轉混合器，該混合器包括軸，所述軸具有軸通道，所述軸通道具有位于外殼之內的通道入口，以及與所述密封塊氣體出口氣流連通的通道出口；

裝配在軸上的轉子，所述轉子與接合定子相接合；

介于所述轉子和軸之間的轉子O形環，所述轉子O形環將所述轉子固定于軸；

第一軸承，其包括第一軸承外座圈，第一軸承內座圈，以及介于第一軸承外座圈和第一軸承內座圈之間的多個第一軸承滾珠；

第二軸承，其包括第二軸承外座圈，第二軸承內座圈，以及介于第二軸承外座圈和第二軸承內座圈之間的多個第二軸承滾珠；

裝配在軸上的軸套；

介于軸套和軸之間的軸O形環，所述軸O形環將軸套固定于軸；

軸承螺母；

軸承隔離圈；

液體預聚物材料；

大量微球體；以及

惰性氣體；

所述第一軸承外座圈壓在密封塊和接合定子之間，第二軸承外座圈壓在密封塊上，第二軸承內座圈壓在軸承螺母和軸承隔離圈之間，第一軸承內座圈壓在軸承隔離圈和轉子之間，使得所述旋轉混合器可以相對于密封塊旋轉；以及

其中，所述液體預聚物材料、大量微球體以及惰性氣體在外殼內處理。