[發(fā)明專利]真空吸筆有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201010165015.5 | 申請(qǐng)日： | 2010-04-29 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN102233548A | 公開（公告）日： | 2011-11-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 謝淵;方明海;吳靜鑾;張士仁;劉克斌 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司;武漢新芯集成電路制造有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B25B11/00 | 分類號(hào)： | B25B11/00 |
| 代理公司： | 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時(shí)云 |
| 地址： | 20120*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 真空 | ||
1.一種真空吸筆，包括：
真空吸嘴；以及
活塞式抽真空裝置，其通過一單向閥與所述真空吸嘴連接；
當(dāng)通過所述活塞式抽真空裝置從所述真空吸嘴抽氣后，所述單向閥防止氣體回流至所述真空吸嘴。
2.如權(quán)利要求1所述的真空吸筆，其特征在于，所述活塞式抽真空裝置包括：
活塞腔體，其一端設(shè)置有開口，另一端設(shè)置有進(jìn)氣口和排氣口；
活塞，設(shè)置于所述活塞腔體內(nèi)并可沿所述活塞腔體內(nèi)壁滑動(dòng)；以及
活塞推桿，穿過所述開口與所述活塞連接。
3.如權(quán)利要求2所述的真空吸筆，其特征在于，所述活塞腔體為中空?qǐng)A柱體形狀。
4.如權(quán)利要求3所述的真空吸筆，其特征在于，所述單向閥一端通過所述進(jìn)氣口與所述活塞腔體連接，另一端通過一連接部與所述真空吸嘴連接。
5.如權(quán)利要求4所述的真空吸筆，其特征在于，所述連接部上設(shè)置一真空壓力表。
6.如權(quán)利要求2所述的真空吸筆，其特征在于，所述單向閥為直通式單向閥。
7.如權(quán)利要求2所述的真空吸筆，其特征在于，所述單向閥側(cè)壁上設(shè)置一單向閥排氣孔。
8.如權(quán)利要求8所述的真空吸筆，其特征在于，所述真空吸筆還包括一排氣裝置，所述排氣裝置包括：
排氣管路，其一端通過所述排氣口與所述活塞腔體連接，另一端通過所述單向閥排氣孔與所述單向閥連接；以及
放空閥，設(shè)置于所述排氣管路上。
9.如權(quán)利要求1所述的真空吸筆，其特征在于，所述真空吸嘴的材質(zhì)為聚四氟乙烯或金屬。
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