[發(fā)明專利]一種多邊形電極的壓電薄膜體聲波傳感器無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201010164347.1 | 申請(qǐng)日： | 2010-04-30 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN101846653A | 公開(kāi)（公告）日： | 2010-09-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 顧豪爽;熊娟;吳雯;杜鵬飛;胡明哲;胡永民 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 湖北大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | G01N29/036 | 分類號(hào)： | G01N29/036;B81B3/00 |
| 代理公司： | 武漢金堂專利事務(wù)所 42212 | 代理人： | 丁齊旭 |
| 地址： | 430062 湖*** | 國(guó)省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 多邊形 電極 壓電 薄膜 聲波 傳感器 | ||
1.一種具有多邊形電極的薄膜體聲波傳感器，包括襯底、壓電薄膜、上下金屬電極、電極引線以及覆蓋在上電極表面的敏感膜，其特征在于壓電薄膜兩表面的上下電極有一個(gè)或者兩個(gè)是多邊形，該多邊形為任意兩邊不平行、內(nèi)角均為鈍角、邊數(shù)小于10的多邊形。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有多邊形電極的薄膜體聲波傳感器，其特征在于壓電薄膜兩表面的上下電極有一個(gè)為任意兩邊不平行、內(nèi)角均為鈍角、邊數(shù)小于10的多邊形時(shí)，其面積小于另一個(gè)金屬電極的面積。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的具有多邊形電極的薄膜體聲波傳感器，其特征在于所述的多邊形可以是正五邊形、非正五邊形、正七邊形、非正七邊形、正九邊形、非正九邊形、非正六邊形、非正八邊形等，其中正五邊形的效果最好。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的具有多邊形電極的薄膜體聲波傳感器，其特征在于所述的壓電薄膜是c軸擇優(yōu)取向或c軸傾斜擇優(yōu)取向的壓電薄膜。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的具有多邊形電極的薄膜體聲波傳感器，其特征在于所述的壓電薄膜是生長(zhǎng)在Si襯底或GaAs襯底表面。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的具有多邊形電極的薄膜體聲波傳感器，其特征在于所述的覆蓋在上電極表面的敏感膜是Au、Pt、Pb、ZnO金屬催化物。
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