[發明專利]全息設備,傾斜檢測方法和傾斜校正方法

無效

• 申請號: 201010164259.1
• 申請日: 2010-04-09
• 公開（公告）號: CN101866659A
• 公開（公告）日: 2010-10-20
• 發明（設計）人: 山川明郎;岡本好喜;田中健二;德山一龍;高崎浩司
• 申請（專利權）人: 索尼公司
• 主分類號: G11B7/0065
• 分類號: G11B7/0065;G11B7/00
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 李穎

1.一種全息設備，包括：

向全息記錄介質照射光的光源，所述全息記錄介質具有借助信號光和參照光之間的干涉條紋執行信息記錄的記錄層；

空間光調制單元，所述空間光調制單元通過對來自光源的光進行空間光調制，產生信號光和/或參照光，并且在來自光源的光的入射面內的預定位置產生標記光；

光照射單元，所述光照射單元把經過空間光調制單元的空間光調制的光經物鏡照射到全息記錄介質；

受光單元，所述受光單元通過全息記錄介質接收經物鏡照射的光；

傾斜檢測單元，所述傾斜檢測單元根據受光單元中的標記光的理想受光位置和受光單元的標記光的實際受光位置之間的誤差的檢測結果，獲得傾斜誤差信號，所述傾斜誤差信號表示作為經物鏡照射到全息記錄介質的信息記錄面的入射角的傾斜角相對于理想角度的誤差。

2.按照權利要求1所述的全息設備，其中傾斜檢測單元根據標記光的理想受光位置和實際受光位置之間的在受光單元的受光面內的第一方向的位置誤差的檢測結果，獲得與切向傾斜和徑向傾斜之一對應的傾斜誤差信號。

3.按照權利要求2所述的全息設備，其中傾斜檢測單元根據標記光的理想受光位置和實際受光位置之間的在受光面內的第一方向的位置誤差、和與在受光面內的第一方向正交的第二方向的位置誤差的相應檢測結果，獲得與切向傾斜和徑向傾斜對應的傾斜誤差信號。

4.按照權利要求3所述的全息設備，其中在信號光的產生區域和參照光的產生區域之間設定隔離這些區域的間隙區，并且

空間光調制單元在間隙區內產生標記光。

5.按照權利要求4所述的全息設備，其中空間光調制單元產生多個標記光，并且

傾斜檢測單元針對受光單元接收的所述多個標記光中的每個標記光，檢測理想受光位置和實際受光位置之間的位置誤差。

6.按照權利要求5所述的全息設備，其中空間光調制單元產生至少三個或者更多的標記光作為所述多個標記光，以獲得在入射面內的第一方向間隔一定距離的一組兩個標記光，和在與入射面內的第一方向正交的第二方向間隔一定距離的一組兩個標記光。

7.按照權利要求6所述的全息設備，其中空間光調制單元產生總共四個標記光，以獲得兩組標記光，以致相應產生位置關于來自光源的光的光軸軸對稱，并且

傾斜檢測單元通過針對受光單元接收的四個標記光中的每個標記光檢測第一方向的理想受光位置和實際受光位置之間的位置誤差，并計算誤差的平均值，來獲得與切向傾斜和徑向傾斜之一對應的傾斜誤差信號，通過針對受光單元接收的四個標記光中的每個標記光檢測第二方向的理想受光位置和實際受光位置之間的位置誤差，并計算誤差的平均值，來獲得與切向傾斜和徑向傾斜中的另一個對應的傾斜誤差信號。

8.按照權利要求1所述的全息設備，還包括：

進行傾斜角的調整的傾斜角調整單元；和

根據傾斜檢測單元獲得的傾斜誤差信號來控制傾斜角調整單元校正傾斜角的傾斜校正控制單元。

9.按照權利要求8所述的全息設備，其中傾斜角調整單元通過傾斜全息記錄介質，進行傾斜角的調整。

10.按照權利要求8所述的全息設備，其中傾斜角調整單元通過傾斜包括光照射單元的整個光學系統，進行傾斜角的調整。

11.按照權利要求8所述的全息設備，其中傾斜角調整單元通過沿與全息記錄介質的徑向和/或切向平行的方向滑動驅動物鏡，進行傾斜角的調整。

12.按照權利要求8所述的全息設備，其中傾斜角調整單元通過利用液晶元件對入射到物鏡的光進行波前校正，執行傾斜角的調整。