[發明專利]一種基于永磁體實現磁場掃描的結構及方法

無效

• 申請號: 201010162487.5
• 申請日: 2010-04-28
• 公開（公告）號: CN101833072A
• 公開（公告）日: 2010-09-15
• 發明（設計）人: 吳昊;鄭厚植;章昊;朱匯
• 申請（專利權）人: 中國科學院半導體研究所
• 主分類號: G01R33/038
• 分類號: G01R33/038
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 周國城

1.一種基于永磁體實現磁場掃描的結構，其特征在于，該結構包括一釹鐵硼永磁體、一一維電動平移臺及其控制器，其中釹鐵硼永磁體通過自制加工件固定在一維電動平移臺的臺面上。

2.根據權利要求1所述的基于永磁體實現磁場掃描的結構，其特征在于，所述釹鐵硼永磁體為一具有同心孔洞的圓柱體，孔洞中的磁場沿軸向變化，并且在軸向中心有數毫米尺度的均勻磁場區域，在該區域磁場強度達到最大。

3.根據權利要求1所述的基于永磁體實現磁場掃描的結構，其特征在于，所述一維電動平移臺由直線導軌、滾珠絲杠及可移動臺面構成，用以承載釹鐵硼永磁體，其分辨率為1微米，并且可編程通過步進電機控制器控制其運動。

4.根據權利要求1所述的基于永磁體實現磁場掃描的結構，其特征在于，該結構還包括一激光器、一物鏡、一分光平片、一攝像頭、一顯示器和一高斯計，其中該激光器和該物鏡構成入射光路，該分光平片、該攝像頭和該顯示器構成監視光路，用以觀察入射光路在高斯計探頭上的聚焦情況，以確定高斯計的位置，保證高斯計探頭的位置與之后放置的待測樣品的位置重合。

5.一種基于永磁體實現磁場掃描的方法，應用于權利要求6所述的結構，其特征在于，該方法包括：

步驟1：調節高斯計的位置，通過該監視光路觀察，使入射光聚焦到高斯計探頭頂端，固定高斯計；

步驟2：控制該一維電動平移臺，移動該釹鐵硼永磁體，記錄每個永磁體位置下的高斯計讀數；

步驟3：移走高斯計，將待測樣品置于之前高斯計探頭的位置，從步驟2所得數據中選取合適的永磁體位置范圍，通過程序控制一維電動平移臺移動，同時進行測量，獲取測量值-磁場強度曲線。

6.根據權利要求5所述的基于永磁體實現磁場掃描的方法，其特征在于，放置待測樣品時，通過該監視光路觀察，使該入射光路的光聚焦到樣品表面。