[發明專利]光刻設備、控制系統、多核處理器以及在多核處理器上啟動任務的方法

無效

• 申請號: 201010161551.8
• 申請日: 2010-04-13
• 公開（公告）號: CN101866116A
• 公開（公告）日: 2010-10-20
• 發明（設計）人: L·C·J·范哈爾德;W·T·M·阿爾伯特;R·納伯
• 申請（專利權）人: ASML荷蘭有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G06F15/163
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 王新華

1.一種多核處理器，所述多核處理器包括：

兩個或更多的核；

外部通信工具，所述外部通信工具由所述核所共享且能夠在一時刻與所述核中的一個進行通信；和

內部通信工具，所述內部通信工具能夠與所述核中的每一個同時進行通信；

其中，所述多核處理器被配置以：

經由所述外部通信工具接收第一信號；

將所述第一信號中繼至所述核中的一個；

由所述核中的所述一個處理所述第一信號，并且由此產生第二信號；

通過所述內部通信工具大致同時地將所述第二信號發送至所述核中的每一個；和

響應于所述第二信號的接收來在所述核中的每一個上啟動任務。

2.根據權利要求1所述的多核處理器，其中所述多核處理器被配置以在接收到所述第二信號之后在所有核上啟動所述任務，包括處理所述第一信號的核。

3.根據權利要求1所述的多核處理器，其中所述多核處理器被配置以將所述第二信號的優先級設定成高于所述第一信號的優先級。

4.根據權利要求1所述的多核處理器，其中所述內部通信工具包括被配置以產生所述第二信號的計時器。

5.一種用于控制光刻設備中的過程的控制系統，所述控制系統包括被配置以基于裝置的輸入來計算所述控制系統的輸出的多核處理器，其中所述多核處理器包括：

兩個或更多的核；

外部通信工具，所述外部通信工具由所述核共享且能夠在一時刻與所述核中的一個進行通信；和

內部通信工具，所述內部通信工具能夠與所述核中的每一個同時進行通信；

其中所述多核處理器被配置以：

經由所述外部通信工具接收第一信號；

將所述第一信號中繼至所述核中的一個；

由所述核中的所述一個來處理所述第一信號，并且由此產生第二信號；

通過所述內部通信工具將所述第二信號基本上同時地發送至所述核中的每一個；和

響應于所述第二信號的接收來在所述核中的每一個上啟動任務。

6.根據權利要求5的控制系統，其中所述多核處理器被配置以在接收到所述第二信號之后在所有核上啟動所述任務，包括處理所述第一信號的核。

7.根據權利要求5的控制系統，其中所述多核處理器被配置以將所述第二信號的優先級設定成高于所述第一信號的優先級。

8.根據權利要求5的控制系統，其中所述多核處理器包括被配置以產生所述第二信號的計時器。

9.一種光刻設備，所述光刻設備包括用于控制所述光刻設備中的過程的控制系統和用于基于所述過程來提供對所述控制系統的輸入的傳感器，所述控制系統包括被配置以基于所述傳感器的所述輸入來計算所述控制系統的輸出的多核處理器，其中所述多核處理器包括：

兩個或更多的核；

外部通信工具，所述外部通信工具由所述核共享且能夠在一時刻與所述核中的一個進行通信；和

內部通信工具，所述內部通信工具能夠同時與所述核中的每一個進行通信，

其中所述多核處理器被配置以：

經由所述外部通信工具來接收第一信號；

將所述第一信號中繼至所述核中的一個；

由所述核中的所述一個來處理所述第一信號，并且由此產生第二信號；

通過所述內部通信工具基本上同時地將所述第二信號發送至所述核中的每一個；和

響應于所述第二信號的接收在所述核中的每一個上啟動任務。

10.根據權利要求9所述的光刻設備，其中所述多核處理器被配置以在接收到所述第二信號之后在所有核上啟動任務，包括處理所述第一信號的核。

11.根據權利要求9所述的光刻設備，其中所述多核處理器被配置以將所述第二信號的優先級設定成高于所述第一信號的優先級。

12.根據權利要求9所述的光刻設備，其中所述多核處理器包括被配置以產生所述第二信號的計時器。