[發明專利]一種生產線設備的計時控制方法及裝置

有效

• 申請號: 201010161304.8
• 申請日: 2010-04-28
• 公開（公告）號: CN101866171A
• 公開（公告）日: 2010-10-20
• 發明（設計）人: 高建強
• 申請（專利權）人: 北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司
• 主分類號: G05B19/418
• 分類號: G05B19/418
• 代理公司: 北京潤澤恒知識產權代理有限公司 11319
• 代理人: 蘇培華

技術領域

本發明涉及生產線設備控制的技術領域，特別是涉及一種生產線設備的計時控制方法及一種生產線設備的計時控制裝置。

背景技術

在目前生產的各個領域，為了滿足設備維修和保養的需要、縮短設備的停機時間，操作人員必須準確方便地了解當前設備零部件的使用情況，從而便于備件貯備和安排生產。為保證設備的使用率和正常的生產，對設備零部件的使用壽命進行監控是十分重要的。

由于設備零部件自身結構的不同，影響零部件使用壽命的因素也各不同。以半導體刻蝕設備為例，影響其零部件使用壽命的因素主要有以下六種：Wafer?Counter，Pin?Counter，Time，SRF?Hours，BRF?Hours和TMP?Hours。其中，Wafer?Counter用于統計wafer(硅片)的總數；PinCounter用于統計pin(針)的升降次數；Time是設備的使用時間；SRFHours用于表示源射頻(Source?Radio?Frequency，SRF)的啟輝時間；BRF?Hours用于表示下射頻(Bias?Radio?Frequency，BRF)的啟輝時間；TMP?Hours用于表示分子泵(Turbo?Molecular?Pump)正常工作的時間。

可以理解的是，所述影響零部件使用壽命的因素實質上就是與零部件壽命相關的信息源，也就是說，不同零部件的使用壽命將會直接與某一種或某幾種信息源相關。例如，對于典型的硅柵刻蝕工藝而言，當SRFHours達到預計壽命時，不同的石英件具有不同的壽命，如石英窗(Quartzwindow)為2000RF小時，聚焦環(Focus?ring)為300RF小時，即石英窗和聚焦環的使用壽命與SRF?Hours這個信息源相關；或如，波紋管(Bellow)與Pin?Counter這個信息源相關。在實際中，信息源通常具有兩種狀態：ON和OFF，這兩種狀態表示影響零部件使用壽命的因素是否正在發揮作用。相應地，控制系統中一般會設定兩個容差來衡量零部件的使用情況，軟容差(Soft?Tolerance)和硬容差(Hard?Tolerance)。

為對設備中不同零部件的壽命進行準確地記錄，在具體應用中，一般會在生產線設備的控制系統中針對各個零部件設置計時器，以對相應零部件的使用壽命進行計時。具體可以參考圖1所示的現有技術中一種生產線設備計時控制流程，包括如下步驟：

步驟101、在設備控制系統啟動后，從指定目錄文件中加載計時器信息；

其中，所述計時器信息包括零部件的名稱、信息源、計時器功能是否開啟、計時器當前值、軟容差和硬容差等信息。

步驟102、啟動監控累加線程；

將獲取到的計時器信息分別賦值為程序中的變量，為計時器的累加做準備。

步驟103、檢測信息源狀態，若為ON，則執行步驟104；若為OFF，則執行步驟105；

步驟104、判斷計時器的計時功能是否開啟；若是，則執行步驟106；若否，則執行步驟111；

步驟105、保存當前計時器的信息至所述硬盤的指定目錄文件，并執行步驟111；

步驟106、計時器累加并更新計時器信息；

步驟107、判斷計時器是否超過軟容差，若是，則執行步驟108；否則執行步驟109；

步驟108、拋出PROBLEM報警，提示用戶零部件即將達到使用壽命。

步驟109、判斷計時器是否超過硬容差，若是，則執行步驟110；否則執行步驟111；

步驟110、拋出ERROR報警，警告用戶零部件已經達到使用壽命并應及時更換備件；

步驟111、延遲固定時間后，返回步驟103。

這種現有的計時控制方法主要存在以下缺點：

1、在控制系統運行期間，啟動的監控累加線程總是需要在延遲固定的時間內循環監測信息源狀態的變化，并根據該變化來決定計數器是否累加和更新信息。這種輪詢機制在一定程度上造成了系統資源的浪費，影響了系統性能；并且，采用這種延遲固定時間循環監測的方案也很難保證實際中計時功能整體執行周期的精準性，從而影響計時器的準確性。

2、現有技術將計時器的累加更新和監控都放到同一個線程中運行，并在設計時便將計時器及關聯的信息源固化在系統中，增加了系統的耦合度、不便于系統的升級和維護。

因此，目前需要本領域技術人員迫切解決的一個技術問題就是：如何能夠創新地提出一種生產線設備的計時控制機制，使得用戶可以自行地定制計時器及關聯的信息源，同時保證計時周期的精準性，提高計時相關信息的準確性，并降低系統的耦合度，節約系統資源，提高系統性能。

發明內容