[發(fā)明專利]一種多晶硅鑄錠工藝無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201010160014.1 | 申請日: | 2010-04-29 |
| 公開(公告)號: | CN101880911A | 公開(公告)日: | 2010-11-10 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 吳彬輝 | 申請(專利權(quán))人: | 江西旭陽雷迪高科技股份有限公司 |
| 主分類號: | C30B29/06 | 分類號: | C30B29/06;C30B28/10 |
| 代理公司: | 南昌新天下專利商標代理有限公司 36115 | 代理人: | 施秀瑾 |
| 地址: | 332005 江西省九江*** | 國省代碼: | 江西;36 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 多晶 鑄錠 工藝 | ||
1.一種多晶硅鑄錠工藝,包括投料、加熱、熔化和長晶,其特征在于,
1)投爐重量為470-480kg,坩堝采用878×878×480mm;
2)加熱第三H3、四步H4時間為120、270分鐘;
3)熔化第六M6、七M7、十一M11步的時間為190、140、40分鐘;
4)長晶第四G4、五G5、七G7步的時間為120、180、270分鐘;同時隔熱籠在長晶第五G5、六G6、七G7步的提升距離增大至16.3cm。
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