[發(fā)明專利]高功率非對稱寬波導980nm半導體激光器結構無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201010157501.2 | 申請日: | 2010-04-21 |
| 公開(公告)號: | CN101820136A | 公開(公告)日: | 2010-09-01 |
| 發(fā)明(設計)人: | 王冠;王俊;崇鋒;馬驍宇 | 申請(專利權)人: | 中國科學院半導體研究所 |
| 主分類號: | H01S5/343 | 分類號: | H01S5/343;H01S5/20;H01S5/06 |
| 代理公司: | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人: | 湯保平 |
| 地址: | 100083 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 功率 對稱 波導 980 nm 半導體激光器 結構 | ||
1.一種高功率非對稱寬波導980nm半導體激光器結構,包括:
一襯底,為(100)面的N型鎵砷材料,該襯底用于在其上外延生長激光器各層材料;
一緩沖層,為N-鎵砷材料,該緩沖層制作在襯底上;
一N型下限制層,為N-鋁鎵砷材料,該N型下限制層制作在緩沖層上;
一下波導層,為N-鋁鎵砷材料,該下波導層制作在下限制層上;
一下壘層,為鎵砷磷材料,該下壘層制作在下波導層上;
一量子阱層,該量子阱層制作在下壘層上;
一上壘層,該上壘層制作在量子阱層上;
一上波導層,該上波導層制作在上壘層上;
一P型上限制層,為P-鋁鎵砷材料,該P型上限制層制作在上波導層上;
一過渡層,為P-鎵砷材料,該過渡層制作在P型上限制層上;
一電極接觸層,為P-鎵砷材料,該電極接觸層制作在過渡層上。
2.根據(jù)權利要求1所述的高功率非對稱寬波導980nm半導體激光器結構,其中量子阱層的材料為銦鎵砷,厚度為8-10nm。
3.根據(jù)權利要求1所述的高功率非對稱寬波導980nm半導體激光器結構,其中上壘層的材料為鎵砷磷,厚度為8-10nm。
4.根據(jù)權利要求1所述的高功率非對稱寬波導980nm半導體激光器結構,其中上波導層的材料為P-鋁鎵砷,厚度為400-800nm,形成大光腔寬波導結構,以獲得較大的等效橫向光斑尺寸,以便在發(fā)生腔面光學災變損傷之前獲得更高的輸出光功率。
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