[發(fā)明專利]一種高溫真空烘烤爐及其操作方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010156395.6
• 申請日: 2010-03-30
• 公開（公告）號: CN102206809A
• 公開（公告）日: 2011-10-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 施建江;劉祥林;張曉沛;楊少延
• 申請（專利權(quán)）人: 杭州海鯨光電科技有限公司;施建江
• 主分類號: C23C16/18
• 分類號: C23C16/18;C23C16/02
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 陶鳳波;屈玉華

1.一種高溫真空烘烤爐，其特征在于：由內(nèi)腔室和圍繞內(nèi)腔室的外腔室構(gòu)成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高溫真空烘烤爐，其特征在于：所述內(nèi)腔室包括內(nèi)筒、加熱棒、載物臺和熱電偶，所述外腔室包括外筒、換熱器、進(jìn)出氣口、氣缸和真空計。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高溫真空烘烤爐，其特征在于：所述內(nèi)筒包括內(nèi)筒前蓋、內(nèi)筒后蓋和內(nèi)筒主體，內(nèi)筒主體和內(nèi)筒前蓋均包括由鐵、鉬、石墨制成的外壁和由石墨粘保溫層材料制成的內(nèi)壁，內(nèi)筒后蓋由透氣的網(wǎng)狀石墨粘保溫材料制成。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高溫真空烘烤爐，其特征在于：所述內(nèi)筒中的加熱棒為石墨電阻加熱棒，其通過絕緣陶瓷件平行均勻排列固定在內(nèi)筒內(nèi)壁四周；所述石墨電阻加熱棒分3組，每組中的石墨電阻加熱棒相互串聯(lián)在一起，組與組之間并聯(lián)，并通過4個加熱棒引出電極與爐體外的三相交流電源連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高溫真空烘烤爐，其特征在于：所述外筒由具有中空夾層的不銹鋼材料構(gòu)成，并包括外筒前蓋和外筒后蓋，中空夾層可以通冷卻循環(huán)水。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高溫真空烘烤爐，其特征在于：所述換熱器包括由鐵、鉬或石墨材料制作的耐高溫風(fēng)機(jī)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的高溫真空烘烤爐，其特征在于：所述耐高溫風(fēng)機(jī)是采用磁流體軸承帶動旋轉(zhuǎn)工作的，以保證風(fēng)機(jī)在旋轉(zhuǎn)工作過程中外腔室內(nèi)仍保持良好的真空密封。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高溫真空烘烤爐，其特征在于：所述氣缸位于外筒前蓋上，所述氣缸的傳動桿由鐵、鉬或石墨制成，并且采用波紋管與外筒前蓋之間真空密封，以保證傳動桿帶動內(nèi)筒前蓋運動過程中內(nèi)外腔室仍保持良好真空密封，升溫和烘烤過程波紋管拉伸傳動桿前進(jìn)關(guān)閉內(nèi)筒前蓋，降溫過程波紋管收縮傳動桿后退開啟內(nèi)筒前蓋。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高溫真空烘烤爐，其特征在于：該高溫真空烘烤爐最高加熱溫度為1600℃，穩(wěn)定工作溫度1200-1600℃，可用于石墨襯底托盤、碳化硅襯底托盤的高溫真空烘烤清洗。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高溫真空烘烤爐，其特征在于：用羅茨泵或分子泵真空泵機(jī)組進(jìn)行內(nèi)腔室和外腔室的高真空抽取。

11.一種高溫真空烘烤爐的操作方法，包括：

打開外筒前蓋和內(nèi)筒前蓋，將待烘烤的物體放置于內(nèi)筒中的載物臺上，然后關(guān)閉外筒前蓋；

對內(nèi)筒所圍繞的內(nèi)腔室和內(nèi)筒與外筒之間的外腔室抽取真空；

通過外筒前蓋上的氣缸的傳動桿關(guān)閉內(nèi)筒前蓋；

向所述內(nèi)筒中設(shè)置的加熱棒通電，以開始加熱；

停止向加熱棒通電，并通過外筒前蓋上的氣缸的傳動桿開啟內(nèi)筒前蓋；

通過外筒上的進(jìn)氣口通入冷卻氣體；

關(guān)閉冷卻氣體，開啟外筒前蓋和內(nèi)筒前蓋，取出烘烤完畢的物體。