[發明專利]大口徑單層薄膜厚度全場檢測裝置

無效

• 申請號: 201010155065.5
• 申請日: 2010-04-23
• 公開（公告）號: CN101907445A
• 公開（公告）日: 2010-12-08
• 發明（設計）人: 蘇俊宏;楊利紅;徐均琪;梁海鋒;惠迎雪;朱昌;田愛玲
• 申請（專利權）人: 西安工業大學
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06
• 代理公司: 西安新思維專利商標事務所有限公司 61114
• 代理人: 黃秦芳

1.一種大口徑單層薄膜厚度全場檢測裝置，其特征在于：包括光源系統(1)、干涉系統、CCD圖像捕獲系統和樣品移動控制系統，所述的干涉系統包括消模器(2)、擴束器(3)、準直鏡(5)、成像物鏡(15)、分光鏡(6)、補償鏡(7)、參考反射鏡(8)、PZT調節器(9)、PZT驅動(10)和可控樣品臺(11)，所述CCD圖像捕獲系統包括CCD攝像機(12)、圖像捕獲器(13)和計算機(14)；所述的光源系統(1)、消模器(2)和擴束器(3)依次設置在第一光軸上，所述CCD攝像機(12)、成像物鏡(15)、第二分光鏡(6)、補償鏡(7)、參考反射鏡(8)和PZT調節器(9)依次設置在與第一光軸平行的第二光軸上，同時反射鏡(4)、第二分光鏡(6)和樣品臺(11)還依次位于垂直于第一光軸的第三光軸上；所述CCD攝像機(12)還依次與圖像捕獲器(13)、計算機(14)、可控樣品臺(11)、PZT驅動(10)和PZT調節器(9)相連接。

2.根據權利要求1所述的大口徑單層薄膜厚度全場檢測裝置，其特征在于：在所述擴束器(3)和第一準直鏡(5)之間設置有反射鏡(4)。

3.根據權利要求1所述的大口徑單層薄膜厚度全場檢測裝置，其特征在于：所述光源系統(1)中的激光光源是He-Ne激光器或YAG倍頻激光器。