[發明專利]一種多端輸出薄膜氣敏傳感器無效
| 申請號： | 201010154582.0 | 申請日： | 2010-04-23 |
| 公開（公告）號： | CN101825596A | 公開（公告）日： | 2010-09-08 |
| 發明（設計）人： | 李昕;左曙;劉衛華;賀永寧;朱長純 | 申請（專利權）人： | 西安交通大學 |
| 主分類號： | G01N27/22 | 分類號： | G01N27/22;G01N27/02 |
| 代理公司： | 西安通大專利代理有限責任公司 61200 | 代理人： | 陸萬壽 |
| 地址： | 710049*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 多端 輸出 薄膜 傳感器 | ||
【權利要求書】：
1.一種多端輸出薄膜氣敏傳感器，包括傳感器的絕緣襯底(9)、薄膜電極層(11)、氣體敏感膜(10)，其特征在于，以絕緣材料作為傳感器的絕緣襯底(9)，通過直流磁控濺射在絕緣襯底上淀積金屬薄膜，接著采用光刻工藝形成薄膜電極層(11)，在薄膜電極層(11)上面設置氣體敏感膜(10)。
2.根據權利要求1所述的多端輸出薄膜氣敏傳感器，其特征在于，所述的傳感器的絕緣襯底(9)材料是鈣鈉玻璃、二氧化硅等其他剛性絕緣材料，或者是柔性聚合物絕緣材料。
3.根據權利要求1所述的多端輸出薄膜氣敏傳感器，其特征在于，薄膜電極層(11)、氣體敏感膜(10)位于傳感器的絕緣襯底(9)同側。
4.根據權利要求1所述的多端輸出薄膜氣敏傳感器，其特征在于，所述的薄膜電極層(11)包括電導信號拾取電極和電容信號拾取電極，電導信號拾取電極和電容信號拾取電極之間是相互獨立的，電容信號拾取電極采用環形叉指結構，同時作為加熱絲。
5.根據權利要求1所述的多端輸出薄膜氣敏傳感器，其特征在于，所述的薄膜電極層(11)材料采用鎳、鉻、不銹鋼及其它二元或者多元合金混合物。
6.根據權利要求1所述的多端輸出薄膜氣敏傳感器，其特征在于，所述的氣體敏感膜(10)材料采用金屬氧化物，或者是碳納米管，或者是有機聚合層，或者是金屬氧化物、碳納米管和有機聚合層的復合材料。
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