[發(fā)明專(zhuān)利]一種微懸臂梁接觸力分布的測(cè)量結(jié)構(gòu)及其方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010153387.6
• 申請(qǐng)日: 2010-04-21
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101839779A
• 公開(kāi)（公告）日: 2010-09-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 唐潔影;袁潔
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 東南大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): G01L1/18
• 分類(lèi)號(hào): G01L1/18
• 代理公司: 南京蘇高專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32204
• 代理人: 柏尚春

1.一種微懸臂梁接觸力分布的測(cè)量結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述測(cè)量結(jié)構(gòu)包括襯底(1)和金屬或多晶硅懸臂粱(3)，所述襯底(1)上設(shè)有懸臂梁錨區(qū)(2)、與測(cè)量結(jié)構(gòu)相對(duì)應(yīng)的用于靜電激勵(lì)的下拉電極(4)和對(duì)應(yīng)于懸臂粱(3)的襯底接觸電極，所述懸臂粱(3)通過(guò)懸臂梁錨區(qū)(2)固定在襯底(1)上方，所述襯底接觸電極由兩條以上并行排列的窄條電極構(gòu)成，所述窄條電極的兩個(gè)末端分別連接有壓焊塊，所述窄條電極中間斷開(kāi)分成窄條電極對(duì)。

2.一種如權(quán)利要求1所述的微懸臂梁接觸力分布的測(cè)量結(jié)構(gòu)的測(cè)量方法，其特征在于所述測(cè)量方法如下：

1)在所述懸臂梁(3)和下拉電極(4)之間施加電壓，在靜電力作用下，懸臂梁(3)的自由端向下彎曲并和與之相應(yīng)的襯底接觸電極接觸，使得相應(yīng)的斷開(kāi)的窄條電極對(duì)接通；

2)依次測(cè)量各接通的窄條電極對(duì)的接觸電阻；

3)根據(jù)測(cè)得的接觸電阻分析懸臂粱(3)的接觸力分布，懸臂粱(3)與襯底接觸電極間的接觸力越大，則相應(yīng)的接觸電阻就越小。