[發明專利]一種微懸臂梁接觸力分布的測量結構及其方法

有效

• 申請號: 201010153387.6
• 申請日: 2010-04-21
• 公開（公告）號: CN101839779A
• 公開（公告）日: 2010-09-22
• 發明（設計）人: 唐潔影;袁潔
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: G01L1/18
• 分類號: G01L1/18
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 柏尚春

1.一種微懸臂梁接觸力分布的測量結構，其特征在于：所述測量結構包括襯底(1)和金屬或多晶硅懸臂粱(3)，所述襯底(1)上設有懸臂梁錨區(2)、與測量結構相對應的用于靜電激勵的下拉電極(4)和對應于懸臂粱(3)的襯底接觸電極，所述懸臂粱(3)通過懸臂梁錨區(2)固定在襯底(1)上方，所述襯底接觸電極由兩條以上并行排列的窄條電極構成，所述窄條電極的兩個末端分別連接有壓焊塊，所述窄條電極中間斷開分成窄條電極對。

2.一種如權利要求1所述的微懸臂梁接觸力分布的測量結構的測量方法，其特征在于所述測量方法如下：

1)在所述懸臂梁(3)和下拉電極(4)之間施加電壓，在靜電力作用下，懸臂梁(3)的自由端向下彎曲并和與之相應的襯底接觸電極接觸，使得相應的斷開的窄條電極對接通；

2)依次測量各接通的窄條電極對的接觸電阻；

3)根據測得的接觸電阻分析懸臂粱(3)的接觸力分布，懸臂粱(3)與襯底接觸電極間的接觸力越大，則相應的接觸電阻就越小。