[發明專利]一種微懸臂梁接觸長度的測量結構及其方法有效
| 申請號： | 201010153380.4 | 申請日： | 2010-04-21 |
| 公開（公告）號： | CN101839706A | 公開（公告）日： | 2010-09-22 |
| 發明（設計）人： | 唐潔影;袁潔 | 申請（專利權）人： | 東南大學 |
| 主分類號： | G01B21/02 | 分類號： | G01B21/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210009 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 懸臂梁 接觸 長度 測量 結構 及其 方法 | ||
1.一種微懸臂梁接觸長度的測量結構，其特征在于：所述測量結構包括襯底(1)、兩個尺寸及材料相同的金屬懸臂粱(31)和懸臂粱(32)；所述襯底(1)上設有懸臂梁錨區(2)、與測量結構相對應的用于靜電激勵的下拉電極(4)、對應于懸臂粱(31)的普通襯底接觸電極(5)和對應于懸臂粱(32)的襯底接觸電極；所述懸臂粱(31)和懸臂粱(32)通過懸臂梁錨區(2)位置對稱地并行固定在襯底(1)上方；所述對應于懸臂粱(31)的普通襯底接觸電極(5)和對應于懸臂粱(32)的襯底接觸電極材料相同；所述對應于懸臂粱(32)的襯底接觸電極由兩條以上并行排列的窄條電極構成，所述窄條電極末端連接有壓焊塊。
2.一種如權利要求1所述的微懸臂梁接觸長度的測量結構的測量方法，其特征在于所述測量方法如下：
1)在所述懸臂粱(31)、懸臂粱(32)和下拉電極(4)之間施加電壓，在靜電力的作用下，懸臂梁(31)和懸臂梁(32)的自由端向下彎曲并和與之相應的普通襯底接觸電極(5)和襯底接觸電極接觸；
2)當懸臂粱(32)與襯底接觸電極的兩條以上窄條電極相接觸時將使相應的窄條電極間接通，通過測試各窄條電極間的接通狀況，判斷懸臂梁(32)與襯底接觸電極的接觸位置；
3)根據懸臂梁(32)與襯底接觸電極的接觸位置，測量、計算懸臂梁(32)與襯底接觸電極的接觸長度；
4)懸臂梁(31)與普通襯底接觸電極(5)的接觸長度和懸臂梁(32)與襯底接觸電極的接觸長度相同。
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