[發明專利]新型散熱器件及其制造方法

有效

• 申請號: 201010153256.8
• 申請日: 2010-04-14
• 公開（公告）號: CN101853822A
• 公開（公告）日: 2010-10-06
• 發明（設計）人: 錢濤
• 申請（專利權）人: 星弧涂層科技(蘇州工業園區)有限公司
• 主分類號: H01L23/373
• 分類號: H01L23/373;H01L21/48;H01L33/64
• 代理公司: 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102
• 代理人: 陸明耀;陳忠輝

1.一種新型散熱器件，包括：與熱源抵接的導熱件(7)以及與所述導熱件(7)固接的散熱翅片(8)，其特征在于：所述導熱件(7)由金屬基材和沉積于所述金屬基材之上的高導熱性涂層組成，所述高導熱性涂層包括兩層類金剛石涂層，所述第一層類金剛石涂層(3)與金屬基材(1)之間設有起固附作用的第一鉻涂層(2)，所述兩層類金剛石涂層(3、5)之間設有用于熱傳導的第二鉻涂層(4)。

2.根據權利要求1所述的新型散熱器件，其特征在于：所述最外層的第二層類金剛石涂層(5)的成份為20％～60％的石墨相，以及80％～40％金剛石相。

3.根據權利要求1所述的新型散熱器件，其特征在于：所述第一鉻涂層(2)厚度為20～40內米。

4.根據權利要求1所述的新型散熱器件，其特征在于：所述第一層類金剛石涂層(3)厚度為1.2～1.4微米。

5.根據權利要求1所述的新型散熱器件，其特征在于：所述第二鉻涂層(4)厚度為10～20納米。

6.根據權利要求1所述的新型散熱器件，其特征在于：所述第二層類金剛石涂層(5)厚度為1.0～1.2微米。

7.根據權利要求1所述的新型散熱器件，其特征在于：所述金屬基材(1)為紫銅、或鋁合金、或不銹鋼。

8.一種如權利要求1所述的新型散熱器件的制造方法，其特征在于：包括如下步驟，

第一，將金屬基材進行去除氧化層和超聲波清洗，確保材質表面的清潔；

第二，將金屬基材置于PVD涂層設備之中，進行抽氣并抽至1*10^-5Pa的本底真空；

第三，加熱金屬基材至150℃，并在整個涂層過程中保持此溫度；

第四，向PVD涂層設備的真空室中通入氬氣，保持鍍膜真空室內壓力為1.5～2.0Pa的壓力，向金屬基材上施加-100V偏壓，用磁控濺射技術完成第一鉻涂層；

第五，向PVD涂層設備的真空室中通入C₂H₂氣體，保持鍍膜真空室內壓力為1.2*10^-1～3.0^-1Pa的壓力，向金屬基材上施加-200V偏壓，用離子束技術完成第一層類金剛石涂層，沉積該層類金剛石涂層時，離子束上所施加的電壓為1200V，電流為100～120mA；

第六，向PVD涂層設備的真空室中通入氬氣，保持鍍膜真空室內壓力為1.5～2.0Pa的壓力，向金屬基材上施加-70V偏壓，用磁控濺射技術完成第二Cr涂層；

第七，向PVD涂層設備的真空室中通入C₂H₂氣體，保持鍍膜真空室內壓力為1.2*10^-1～3.0^-1Pa的壓力，向金屬基材上施加-500V偏壓，用離子束技術完成第二層類金剛石涂層，沉積該層類金剛石涂層時，離子束上所施加的電壓為2200V，電流為200～220mA。