[發明專利]一種氮化鎵基LED外延用藍寶石圖形化襯底制備方法無效
| 申請號： | 201010153212.5 | 申請日： | 2010-04-16 |
| 公開（公告）號： | CN101826583A | 公開（公告）日： | 2010-09-08 |
| 發明（設計）人： | 陳莉;姚濤;陳霞;周小寧 | 申請（專利權）人： | 武漢希瑞技術有限公司 |
| 主分類號： | H01L33/20 | 分類號： | H01L33/20 |
| 代理公司： | 江西省專利事務所 36100 | 代理人： | 胡里程 |
| 地址： | 430074 湖北省武漢市關東科技*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 氮化 led 外延 藍寶石 圖形 襯底 制備 方法 | ||
1.一種氮化鎵基LED外延用藍寶石圖形化襯底制備方法，步驟為：a在襯底上沉積一層ZnO的薄膜材料；b用光阻在所述的薄膜上制備掩模圖形；c通過刻蝕，將光刻膠掩模的圖形轉移到所述的薄膜上；d清洗襯底，去除殘留的光阻。
2.根據權利要求1所述氮化鎵基LED外延用藍寶石圖形化襯底制備方法，其特征在于：所述的襯底為藍寶石。
3.根據權利要求1所述氮化鎵基LED外延用藍寶石圖形化襯底制備方法，其特征在于：所述的薄膜為氧化鋅材料。
4.根據權利要求1或3所述氮化鎵基LED外延用藍寶石圖形化襯底制備方法，其特征在于：所述的薄膜厚度僅在0.5-1.5μm之間。
5.根據權利要求1或2所述氮化鎵基LED外延用藍寶石圖形化襯底制備方法，其特征在于：所述襯底包括襯底上的圖形，圖形為半球形、圓錐形或圓臺形圓錐形，圖形下底圓的直徑為1-5μm，高度為0.5-3μm，圖形間距為1-5μm。
6.根據權利要求1或3所述氮化鎵基LED外延用藍寶石圖形化襯底制備方法，其特征在于：所述的薄膜折射率小于2.5。
7.根據權利要求1所述氮化鎵基LED外延用藍寶石圖形化襯底制備方法，其特征在于：所述步驟a的薄膜制備方法為MOCVD、PECVD、電子束蒸發、濺射或溶膠凝膠中的一種。
8.根據權利要求1所述氮化鎵基LED外延用藍寶石圖形化襯底制備方法，其特征在于：所述的步驟b在薄膜上的制備圖像的方法為勻膠、光刻、顯影、熱板烘烤制作刻蝕掩模。
9.根據權利要求1所述氮化鎵基LED外延用藍寶石圖形化襯底制備方法，其特征在于：所述的步驟c通過干法刻蝕或濕法腐蝕圖形。
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