[發明專利]一種可調節微機械器件彈性系數的變面積電容結構有效
| 申請號： | 201010151630.0 | 申請日： | 2010-04-20 |
| 公開（公告）號： | CN101834065A | 公開（公告）日： | 2010-09-15 |
| 發明（設計）人： | 金仲和;胡世昌;張霞;朱輝杰 | 申請（專利權）人： | 浙江大學 |
| 主分類號： | H01G5/04 | 分類號： | H01G5/04;G01C19/56;G01P15/125 |
| 代理公司： | 杭州求是專利事務所有限公司 33200 | 代理人： | 陳昱彤 |
| 地址： | 310027 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 調節 微機 器件 彈性 系數 面積 電容 結構 | ||
【權利要求書】：
1.一種可調節微機械器件彈性系數的變面積電容結構，在每個單元電容中，可動電極的正表面與固定電極的正表面相互平行，其特征是：所述可動電極的正表面為矩形且固定電極的正表面為三角形或鋸齒形，或者所述可動電極的正表面為三角形或鋸齒形且固定電極的正表面為矩形；所述三角形正表面僅與所述矩形正表面的一條長邊交疊。
2.根據權利要求1所述的一種可調節微機械器件彈性系數的變面積電容結構，其特征是：所述鋸齒形正表面的鋸齒為三角形且所述三角形鋸齒僅與所述矩形正表面的一條長邊交疊。
3.根據權利要求1所述的一種可調節微機械器件彈性系數的變面積電容結構，其特征是：所述鋸齒形正表面的鋸齒為梯形且所述梯形鋸齒僅與所述矩形正表面的一條長邊交疊，交疊部分呈三角形。
4.根據權利要求1所述的一種可調節微機械器件彈性系數的變面積電容結構，其特征是：所述鋸齒形正表面的鋸齒為梯形且所述梯形鋸齒僅與所述矩形正表面的一條長邊交疊，交疊部分呈梯形，所述梯形交疊部分的底邊與所述矩形正表面的長邊平行。
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