[發明專利]準分子燈

無效

• 申請號: 201010150661.4
• 申請日: 2010-03-23
• 公開（公告）號: CN101847564A
• 公開（公告）日: 2010-09-29
• 發明（設計）人: 竹添法隆
• 申請（專利權）人: 優志旺電機株式會社
• 主分類號: H01J65/00
• 分類號: H01J65/00;H01J61/04
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 龐乃媛

技術領域

本發明涉及一種在放電容器內形成反射膜的準分子燈，尤其涉及一種具有可適用于設置光量監測的裝置的監測用的采光口的準分子燈。

背景技術

作為現有的準分子燈，被提案有雙重管型、圓筒型、方型等的各種形狀。這些準分子燈，不管形狀都被期待高輸出化。作為實現這種高輸出化的技術，公知有在放電容器內形成反射膜所成的準分子燈，例如日本特開2007-335350號公報所示。

依照該現有技術，在準分子燈的方型等放電容器的內面，由反射紫外光的二氧化硅主體的微粒子所形成的反射膜被形成于除了光放射面以外的部分。另外，在該放電容器的光放射面的外表面、及其相反側的外表面設有一對外部電極。形成于該光放射面的外部電極，為了發揮輸出光的所謂本來的功能，例如使用柵格狀地涂布金屬糊的光透射性電極。

一方面，作為形成于不輸出相對于上述光放射面的光的一側的外表面的外部電極，在功能上不需要光透射性，很多情形，從制造工序的簡化、在該放電容器內所發生的放電的穩定性等的觀點出發，與上述光放射面同樣地進行原樣使用光透射性電極。

另外，在準分子燈中，如日本特開2005-322632號公報(圖3)所示，公知有在光透射性電極的端部附加的整體狀電極。在該公報中，針對于其作用效果上并不一定明確記載，但該端部的整體狀電極，確保管軸方向的照度均勻性，可期待擴展有效發光區域的效果。

即，在光透射性電極的端部，與中央部附近相比較，所放射的紫外光的強度必定降低。該紫外光的強度降低，在有效發光區域會發生照度不均勻，所以有無法充分地確保有效發光區域自身的長度的缺點，而要充分地確保該有效發光區域，則會產生準分子燈的全長度變長的問題，而在外部電極的端部側設置整體狀電極，期待可解決這些問題。

這是考慮在整體狀電極部分的放電密度比在光透射性電極的放電密度還要高，由此防止在電極端部的照度降低，其結果，可實現在有效發光區域的照度均勻化。

還有，也公知因改善準分子燈的起動性的目的，在放電空間內面設置導電性物質(起動輔助電極)。作為此種現有技術，例如有日本特開平8-329903號公報。依照該公報，記載有在設于放電容器外表面的一對電極的一方端部附近即在該放電容器內面，設置導電性物質作為起動輔助電極的情形。由此，通過在準分子燈的放電容器內面，在起動輔助電極與外部電極之間發生沿面放電，由此被期待降低在外部電極間所發生的放電容器內的主放電的放電開始電壓。其結果，具有即使以低起動電壓也可確實地點亮準分子燈的效果。

可是，在該起動輔助電極與外部電極之間，在放電容器內面所發生的沿面放電，不僅在準分子燈的起動時，在之后的一般點燈時，也繼續發生。由于該繼續發生的沿面放電、或所配置的起動輔助電極本身，有引起該準分子燈的管軸方向的照度不均勻的問題。尤其是若將該起動輔助電極配置于準分子燈的軸方向的中央部附近，則該起動輔助電極自身相對于放射光成為影子，且成為沿面放電存在于中央部附近，而有顯著損壞該準分子燈的管軸方向的照度均勻性的問題。

因此，設置此種起動輔助電極時，為了不影響從該準分子燈所放射的光的均勻性，優選設置于軸方向的端部側。

另一方面，也公知監測從準分子燈所放射的紫外光的光量的情形。作為此種技術，例如公知有日本特開2005-322632號公報等。在該公報中記載有為了監測從準分子燈所放射的紫外光的光量，在該準分子燈的非光透射性電極的軸方向的端部附近設有采光口。如此地將采光口配置于準分子燈的端部附近，是為了在保持對于從該準分子燈所放射的光的軸方向的照度均勻性的基礎上，盡量不成為阻礙。

根據如上述的幾種現有技術，可假設在具有在端部設置整體狀電極所成的一對光透射性電極、設于放電容器內的起動輔助電極、及形成于除了放電容器內表面的光放射面以外的部分的反射膜的準分子燈中，在形成光監測用采光口時，在上述反射膜的管軸方向的端部形成該采光口的結構為容易想到的。

專利文獻1：日本特開2007-335350號公報

專利文獻2：日本特開平8-329903號公報

專利文獻3：日本特開2005-322632號公報

圖3是表示這些現有的準分子燈的結構的概略圖，圖3(a)是俯視圖，圖3(b)是其A-A剖面圖。方型放電管1具有由石英玻璃所構成的放電容器11，在該放電容器11所對置的一對面的外表面，例如以金屬糊等形成有柵格狀地形成的光透射性的外部電極2。另外，在該外部電極2的端部形成有整體狀電極3。