[發(fā)明專利]鍍膜機

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010150151.7
• 申請日: 2010-04-19
• 公開（公告）號: CN102218387A
• 公開（公告）日: 2011-10-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 裴紹凱
• 申請（專利權(quán)）人: 鴻富錦精密工業(yè)（深圳）有限公司;鴻海精密工業(yè)股份有限公司
• 主分類號: B05C9/14
• 分類號: B05C9/14
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種鍍膜機，尤其涉及一種利用離心力進行鍍膜的鍍膜機。

背景技術(shù)

旋轉(zhuǎn)涂布(Spin?Coating)是一種在基板上形成一層薄膜的方法。具體地，基板固定于一可控的旋轉(zhuǎn)離心機工作平臺中心，并隨之旋轉(zhuǎn)，一滴液裝置將待鍍液體滴在基板中心，液滴在離心力的作用下從基板中心向四周拋灑出去，從而使得待鍍液體分布在基板的整個待鍍表面上。此后，基板通常會被加熱以使分布在基板上的待鍍液體蒸發(fā)而形成薄膜。

在某些情況下，如要求鍍膜層具有特定的品質(zhì)時，需要在鍍膜進行過程中在待鍍液體中添加其他液態(tài)物質(zhì)，常規(guī)進行旋轉(zhuǎn)涂布的鍍膜機不能很方便的實現(xiàn)上述添加其他液態(tài)物質(zhì)到待鍍液體中。此外，由于液滴在離心力的作用下從基板中心向四周拋撒，所以工作臺上每次只能安裝一塊基板，降低了鍍膜的效率。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供一種鍍膜機，通過該鍍膜機的轉(zhuǎn)子可方便的在待鍍液體中添加其他需要的液態(tài)物質(zhì)。

一種鍍膜機，其用于將待鍍液體涂布到基板上，所述鍍膜機包括容器和轉(zhuǎn)子，所述容器用于容納待鍍液體，所述容器包括側(cè)壁，所述基板固定于所述側(cè)壁上，所述轉(zhuǎn)子包括相互連通的入液口和出液口，參雜液體自所述入液口流入所述轉(zhuǎn)子中，并在離心力的作用下由所述出液口排出而與所述待鍍液體混合，所述轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)動帶動所述待鍍液體和參雜液體旋轉(zhuǎn)以將待鍍液體和參雜液體附著于所述基板上。

本發(fā)明的鍍膜機的轉(zhuǎn)子設(shè)置有相互連通的入液口和出液口，待添加的其他需要的液態(tài)物質(zhì)可自入液口注入轉(zhuǎn)子中，并且在轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動產(chǎn)生的離心力作用下自出液口噴射出而與待鍍液體混合。此外，本發(fā)明提供的鍍膜機由于可以在所述側(cè)壁固定多塊基板，所以可以同時對多塊基板進行鍍膜，由此提高了鍍膜效率。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的鍍膜機的立體示意圖。

圖2為圖1所示的鍍膜機的分解狀態(tài)下的剖面示意圖。

圖3為圖1所示的鍍膜機的剖面示意圖，其顯示出待鍍膜的基板被液體所覆蓋。

主要元件符號說明

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