[發明專利]運動感測方法及使用該方法的運動感測裝置

無效

• 申請號: 201010149623.7
• 申請日: 2010-04-07
• 公開（公告）號: CN101825645A
• 公開（公告）日: 2010-09-08
• 發明（設計）人: 翁煥翔
• 申請（專利權）人: 矽創電子股份有限公司
• 主分類號: G01P3/68
• 分類號: G01P3/68;G01P15/03;G01H9/00
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

1.一種運動感測方法，其特征在于，其包含下列步驟：

提供一光感測組件于一可動件的一側邊，其中該可動件位于一微機電組件內，且該可動件的運動反應該微機電組件的受力；

提供一光源于該可動件、相對于該光感測組件的另一側邊，該光源產生一照射光，照射該可動件，其中該可動件遮擋部分的該照射光，使該照射光局部照射該光感測組件；

自該光感測組件擷取復數個明暗影像；以及分析各該明暗影像中明暗區域的變化，以決定該可動件的運動。

2.如權利要求1所述的運動感測方法，其特征在于，其中該可動件是一質量塊或一薄膜，而該質量塊或該薄膜具有一開孔，其中該照射光透過該開孔局部照射該光感測組件。

3.如權利要求1所述的運動感測方法，其特征在于，其中該可動件是一質量塊，而該部分的該照射光為該質量塊的一側邊所遮擋。

4.如權利要求1所述的運動感測方法，其特征在于，其中該可動件是一不透光的彈性組件，該彈性組件是用于支持一質量塊的彈性運動，而該部分的該照射光為該彈性組件所遮擋。

5.如權利要求3或4所述的運動感測方法，其特征在于，其中分析各該明暗影像中明暗區域的變化的該步驟包含分析各該明暗影像中一明暗邊界的位置變化。

6.如權利要求1至4任一項所述的運動感測方法，其特征在于，其中分析各該明暗影像中明暗區域的變化的該步驟包含分析各該明暗影像中該明暗區域的面積變化或形狀變化。

7.一種運動感測裝置，其特征在于，包含：

一光感測組件，是用于獲取一明暗影像；

一光源，是用于產生投向該光感測組件的一照射光；以及

一質量塊，彈性地懸置于該光感測組件與該光源間的該照射光的光路徑上，該質量塊具有一透光部，其中該照射光透過該透光部局部照射該光感測組件，以產生該明暗影像。

8.如權利要求7所述的運動感測裝置，其特征在于，其中該質量塊是一非透光材料，而該透光部是一開孔。

9.如權利要求8所述的運動感測裝置，其特征在于，其中該開孔的形狀是圓形、三角形、四邊形、多邊形或十字形狀。

10.如權利要求9所述的運動感測裝置，其特征在于，其中該開孔為圓形，而該開孔的內徑介于20至30微米。

11.如權利要求8所述的運動感測裝置，其特征在于，其中該開孔為方形，而該開孔各邊的長度介于20至30微米。

12.如權利要求7所述的運動感測裝置，其特征在于，其中該質量塊是一透光材料，而該質量塊另包含一不透光層與一形成于該不透光層上的開孔，而該透光部是該開孔。

13.如權利要求12所述的運動感測裝置，其特征在于，其中該不透光層是一不透光金屬膜。

14.如權利要求12所述的運動感測裝置，其特征在于，其中該開孔的形狀是圓形、三角形、四邊形、多邊形或十字形狀。

15.如權利要求7所述的運動感測裝置，其特征在于，其中該光源是發光二極管或雷射二極管。

16.如權利要求7所述的運動感測裝置，其特征在于，其中該光源更包含一屏蔽，該屏蔽上具一開孔，其中該照射光自該開孔射出。

17.如權利要求7所述的運動感測裝置，其特征在于，其更包含一第一芯片與一第二芯片，該質量塊形成于該第一芯片；該光感測組件形成于該第二芯片，其中該第一芯片與該第二芯片是相鍵合。

18.如權利要求7所述的運動感測裝置，其特征在于，其中該光感測組件是電荷耦合裝置影像傳感器或互補性氧化金屬半導體影像傳感器。

19.如權利要求7所述的運動感測裝置，其特征在于，其更包含一基板、一不透光層、以及一透明外罩；該不透光層具有一開孔，其中該光感測組件形成于該基板，該不透光層設于該透明外罩的頂面，該光源設于該頂面且位于該開孔處，而該透明外罩鍵合于該基板且覆蓋該質量塊。