[發明專利]太陽能電池的制造方法

有效

• 申請號: 201010149397.2
• 申請日: 2010-03-31
• 公開（公告）號: CN101931026A
• 公開（公告）日: 2010-12-29
• 發明（設計）人: 兼子一重
• 申請（專利權）人: 三洋電機株式會社
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;C23C14/34
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

1.一種太陽能電池的制造方法，其在基板上形成薄膜太陽能電池，該太陽能電池的制造方法的特征在于：

在所述薄膜太陽能電池的與光入射側相反的一側的面上形成透明電極層和金屬層的疊層結構作為背面電極層時，對于一個所述基板，使所述透明電極層的成膜結束的定時和所述金屬層的成膜開始的定時一致。

2.如權利要求1所述的太陽能電池的制造方法，其特征在于：

在形成所述透明電極層和所述金屬層的疊層結構時，對于一個所述基板，在從所述透明電極層的成膜結束起的10秒以內，開始所述金屬層的成膜。

3.如權利要求1或2所述的太陽能電池的制造方法，其特征在于：

所述透明電極層是氧化鋅。

4.如權利要求3所述的太陽能電池的制造方法，其特征在于：

在所述氧化鋅中添加有鎂。