[發明專利]一種平板PECVD氮化硅覆膜系統

無效

• 申請號: 201010146272.4
• 申請日: 2010-04-14
• 公開（公告）號: CN102220567A
• 公開（公告）日: 2011-10-19
• 發明（設計）人: 張振厚;趙科新;趙崇凌;李士軍;張健;張冬;洪克超;段鑫陽;徐寶利;鐘福強;陸濤
• 申請（專利權）人: 中國科學院沈陽科學儀器研制中心有限公司
• 主分類號: C23C16/34
• 分類號: C23C16/34;C23C16/513
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 張志偉

1.一種平板PECVD氮化硅覆膜系統，其特征在于：該系統設有裝載腔、工藝腔和卸載腔，裝載腔、工藝腔和卸載腔為模塊化的三個腔體，裝載腔和工藝腔相通，工藝腔和卸載腔相通。

2.按照權利要求1所述的平板PECVD氮化硅覆膜系統，其特征在于：裝載腔的外側依次設置裝載臺和進載臺，卸載腔的外側依次設置卸載臺和出載臺。

3.按照權利要求2所述的平板PECVD氮化硅覆膜系統，其特征在于：在裝載臺和卸載臺處安裝用于裝卸光伏晶硅片的機械手。

4.按照權利要求1所述的平板PECVD氮化硅覆膜系統，其特征在于：真空抽氣系統I與裝載腔連通，真空抽氣系統II與工藝腔連通，真空抽氣系統III與卸載腔連通。

5.按照權利要求1所述的平板PECVD氮化硅覆膜系統，其特征在于：裝載腔、工藝腔、卸載腔分別與氮氣回填系統連通。