[發明專利]微視陣列太陽能薄膜電池刻線加工平直度檢測系統及方法

無效

• 申請號: 201010145804.2
• 申請日: 2010-04-13
• 公開（公告）號: CN101819029A
• 公開（公告）日: 2010-09-01
• 發明（設計）人: 張榮標;張業成;周明;郭建光
• 申請（專利權）人: 江蘇大學
• 主分類號: G01B11/27
• 分類號: G01B11/27;H02K7/10;H01L31/18
• 代理公司: 南京知識律師事務所 32207
• 代理人: 汪旭東

1.一種微視陣列太陽能薄膜電池刻線加工平直度檢測系統，包括定位平臺(1)、固定 于定位平臺(1)上的太陽能薄膜電池(14)，其特征是：太陽能薄膜電池(14)上方設置 一用于獲取太陽能薄膜電池(14)刻線加工圖像信息的微視傳感器陣列(3)，微視傳感器 陣列(3)包括在x方向間隔設置的n個微視傳感器(4)和在y方向間隔設置的m個相同 微視傳感器(4)；各微視傳感器(4)分別連接DSP預處理模塊(8)，DSP預處理模塊(8) 通過數據通訊接口(6)與微型計算機檢測系統(7)相連，數據通訊接口(6)與微視傳感 器陣列(3)之間串接x方向傳動機構(5)，數據通訊接口(6)與定位平臺(1)之間串接 y方向傳動機構(2)；

所述x方向傳動機構(5)包括x方向驅動電機(11)、x方向傳動絲杠(10)和微視 傳感器支架(9)，x方向驅動電機(11)與x方向傳動絲杠(10)固定連接，x方向傳動絲 杠(10)通過螺母付與微視傳感器支架(9)固定連接；

每個所述微視傳感器(4)包括方向微調螺栓(16)、方向調節鐵片(17)、面陣數字照 相機(18)和光學放大鏡頭(19)，方向微調螺栓(16)與微視傳感器支架(9)固定連接， 方向調節鐵片(17)的一面與方向微調螺栓(16)固定連接，另一面與面陣數字照相機(18) 固定連接，光學放大鏡頭(19)設置于面陣數字照相機(18)上。

2.根據權利要求1所述的微視陣列太陽能薄膜電池刻線加工平直度檢測系統，其特征 是：所述y方向傳動機構(2)包括y方向驅動電機(13)和y方向傳動絲杠(12)，y方 向驅動電機(13)與y方向傳動絲杠(12)固定連接，y方向傳動絲杠(12)通過螺母付 與定位平臺(1)固定連接。

3.一種如權利要求1所述微視陣列太陽能薄膜電池刻線加工平直度檢測系統的檢測方 法，其特征是采用如下步驟：

A、對每個微視傳感器(4)的方向微調螺栓(16)做方向微調，使每個微視傳感器(4) 與太陽能薄膜電池(14)上的刻線平行；

B、微型計算機檢測系統(7)檢測到太陽能薄膜電池(14)放置在定位平臺(1)上， 通過控制數據通訊接口(6)驅動x方向驅動電機(5)，由x方向傳動絲杠(10)使微視 傳感器陣列(3)在x方向上移動到第一組太陽能薄膜電池(14)刻線位置上；

C、由微型計算機檢測系統(7)通過控制數據通訊接口(6)驅動y方向驅動電機(2)， 由y方向傳動絲杠(12)使太陽能薄膜電池(14)的定位平臺(1)在y方向上均速平移， 在平移過程中由DSP預處理模塊(8)定時啟動對應的微視傳感器(4)不斷采集太陽能薄 膜電池(14)刻線圖片，采集速度與平移速度同步，使所采集的圖片銜接在一起，一邊采 集處理一邊送微型計算機檢測系統(7)，檢測系統拼接并計算出單條線段的直線度、單條 線段的線寬變化率和三條線段的平行度；

D、當DSP預處理模塊(8)將y方向上的所有圖片全部采集完后，微視傳感器陣列 (3)沿y方向返回到起始點，若未采集完所有圖片，由x方向傳動機構(5)使微視傳感 器陣列(3)在x方向上移動到下一組太陽能薄膜電池(14)刻線位置上，轉回步驟C；

E、若所有圖片采集并處理完后，由x方向傳動機構(5)使微視傳感器陣列(3)在x 方向上移動到起始點準備下一太陽能薄膜電池(14)的檢測。