[發明專利]照明裝置的制造裝置及制造方法

有效

• 申請號: 201010145558.0
• 申請日: 2010-03-18
• 公開（公告）號: CN101841006A
• 公開（公告）日: 2010-09-22
• 發明（設計）人: 山崎舜平
• 申請（專利權）人: 株式會社半導體能源研究所
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 何欣亭;徐予紅

1.一種照明裝置的制造裝置，包括：

真空室；

用于使所述真空室處于減壓狀態的排氣系統；以及

將襯底傳送到所述真空室的傳送室，

其中，所述真空室包括：

在所述襯底上形成第一電極的成膜室；

在所述第一電極上形成至少具有發光層的第一發光單元的成膜室；

在所述第一發光單元上形成中間層的成膜室；

在所述中間層上形成至少具有發光層的第二發光單元的成膜室；

在所述第二發光單元上形成第二電極的成膜室；

在設有所述第二電極的所述襯底上形成密封膜的成膜室；以及

用于將所述襯底依次傳送到各成膜室的襯底傳送部件。

2.根據權利要求1所述的照明裝置的制造裝置，其中所述真空室還包括形成干燥劑層的成膜室。

3.一種照明裝置的制造裝置，包括：

真空室；

用于使所述真空室處于減壓狀態的排氣系統；以及

將襯底傳送到所述真空室的傳送室，

其中，所述真空室包括：

在所述襯底上形成第一電極的成膜室；

在所述第一電極上形成至少具有發光層的第一發光單元的成膜室；

在所述第一發光單元上形成中間層的成膜室；

在所述中間層上形成至少具有發光層的第二發光單元的成膜室；

在所述第二發光單元上形成第二電極的成膜室；

使用密封構件密封設有所述第二電極的所述襯底的密封室；以及

用于將所述襯底依次傳送到各成膜室及所述密封室的襯底傳送部件。

4.根據權利要求3所述的照明裝置的制造裝置，其中所述真空室還包括形成干燥劑層的成膜室。

5.一種照明裝置的制造裝置，包括：

真空室；

用于使所述真空室處于減壓狀態的排氣系統；

將襯底傳送到所述真空室的傳送室；以及

與所述真空室通過閘閥連接的密封室，

其中，所述真空室包括：

在所述襯底上形成第一電極的成膜室；

在所述第一電極上形成至少具有發光層的第一發光單元的成膜室；

在所述第一發光單元上形成中間層的成膜室；

在所述中間層上形成至少具有發光層的第二發光單元的成膜室；

在所述第二發光單元上形成第二電極的成膜室；以及

用于將所述襯底依次傳送到各成膜室的襯底傳送部件，

其中，在所述密封室中使用密封構件密封從所述真空室傳送的襯底。

6.根據權利要求5所述的照明裝置的制造裝置，其中所述真空室還包括形成干燥劑層的成膜室。

7.一種照明裝置的制造方法，包括如下步驟：

將襯底傳送到真空室內；以及

在設置在所述真空室內的多個成膜室中，在所述襯底上連續形成包括第一電極、第一發光單元、中間層、第二發光單元和第二電極的發光元件以及密封所述發光元件的密封膜。

8.根據權利要求7所述的照明裝置的制造方法，其中作為所述襯底使用圓形的襯底。

9.根據權利要求7所述的照明裝置的制造方法，其中所述襯底在中央部分具有開口部。

10.一種照明裝置的制造方法，包括如下步驟：

將襯底傳送到真空室內；

在設置在所述真空室內的多個成膜室中，在所述襯底上形成包括第一電極、第一發光單元、中間層、第二發光單元和第二電極的發光元件；

將設有所述發光元件的所述襯底傳送到設置在所述真空室內的密封室，以及

在所述密封室中使用密封構件密封所述襯底。

11.根據權利要求10所述的照明裝置的制造方法，其中作為所述襯底使用圓形的襯底。

12.根據權利要求10所述的照明裝置的制造方法，其中所述襯底在中央部分具有開口部。

13.一種照明裝置的制造方法，包括如下步驟：

將襯底傳送到真空室內；

在設置在所述真空室內的多個成膜室中，在所述襯底上形成包括第一電極、第一發光單元、中間層、第二發光單元和第二電極的發光元件；

將設有所述發光元件的所述襯底傳送到與所述真空室通過閘閥連接的密封室；

在所述密封室中使用密封構件密封所述襯底。