[發(fā)明專利]行進(jìn)車系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010145538.3
• 申請(qǐng)日: 2010-03-29
• 公開（公告）號(hào): CN101850883A
• 公開（公告）日: 2010-10-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 石橋希遠(yuǎn);村山晉;和田芳幸;大野俊孝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社IHI
• 主分類號(hào): B65G1/00
• 分類號(hào): B65G1/00;B65G49/00;B61B13/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 朱美紅;楊楷

1.一種行進(jìn)車系統(tǒng)，其特征在于，具備：

基板處理裝置，實(shí)施基板的保管或規(guī)定的處理；

無人行進(jìn)臺(tái)車，具有使上述基板在收容在基板盒中的狀態(tài)下沿上下方向升降的升降部以及將上述基板盒朝向上述基板處理裝置水平移動(dòng)的水平移動(dòng)部，將上述基板盒沿著朝向上述基板處理裝置設(shè)置的軌道輸送；

基板盒保管部，在上述軌道的上方保持并保管基板盒。

2.如權(quán)利要求1所述的行進(jìn)車系統(tǒng)，其特征在于，

在上述基板盒上設(shè)有被保持部件；

在上述基板盒保管部上設(shè)有卡合到上述被保持部件上的保持部件。

3.如權(quán)利要求1所述的行進(jìn)車系統(tǒng)，其特征在于，

使上述無人行進(jìn)臺(tái)車在上述基板盒保管部的下方停止；

使上述升降部與上述水平移動(dòng)部協(xié)同動(dòng)作，將上述基板盒保持在上述基板盒保管部上。

4.如權(quán)利要求1所述的行進(jìn)車系統(tǒng)，其特征在于，使上述無人行進(jìn)臺(tái)車的行進(jìn)部與上述升降部協(xié)同動(dòng)作，將基板盒保持在上述基板盒保管部上。

5.如權(quán)利要求1所述的行進(jìn)車系統(tǒng)，其特征在于，上述基板盒可多級(jí)堆疊到基板盒保管部上而構(gòu)成。

6.如權(quán)利要求1所述的行進(jìn)車系統(tǒng)，其特征在于，上述無人行進(jìn)臺(tái)車在上述升降部及上述水平移動(dòng)部的上方具備保管上述基板盒的臺(tái)車上基板盒保管部。

7.如權(quán)利要求6所述的行進(jìn)車系統(tǒng)，其特征在于，卡合到上述被保持部件上的上述保持部件設(shè)在上述臺(tái)車上基板盒保管部上。

8.如權(quán)利要求1、2、6、7中任一項(xiàng)所述的行進(jìn)車系統(tǒng)，其特征在于，上述保持部件能夠沿上下方向或水平方向移動(dòng)而構(gòu)成。

9.如權(quán)利要求6所述的行進(jìn)車系統(tǒng)，其特征在于，使上述升降部與上述水平移動(dòng)部協(xié)同動(dòng)作，將上述基板盒保持在上述臺(tái)車上基板盒保管部上。

10.如權(quán)利要求6所述的行進(jìn)車系統(tǒng)，其特征在于，上述基板盒可多級(jí)堆疊到上述臺(tái)車上基板盒保管部上而構(gòu)成。

11.如權(quán)利要求6所述的行進(jìn)車系統(tǒng)，其特征在于，將沒有收容上述基板的空的基板盒保持在上述臺(tái)車上基板盒保管部上。