[發(fā)明專利]一種光學(xué)成像器件結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010145203.1
• 申請日: 2010-04-09
• 公開（公告）號: CN102214663A
• 公開（公告）日: 2011-10-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 冀永輝;丁川;劉明;王琴;龍世兵;閆鋒
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院微電子研究所
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 周國城

1.一種光學(xué)成像器件結(jié)構(gòu)，其特征在于，該結(jié)構(gòu)是由多個結(jié)構(gòu)完全相同的成像器件構(gòu)成的成像陣列，該多個成像器件被分為若干組，每一組中的成像器件具有相同的數(shù)目和相同的排列結(jié)構(gòu)，且每組成像器件均包括一個參考單元和至少一個成像單元，該參考單元和成像單元是結(jié)構(gòu)完全相同的成像器件，每組成像器件中的參考單元和成像單元相距近，工藝偏差小，在執(zhí)行復(fù)位、成像、讀取操作時受到的共模干擾相同。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)成像器件結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述成像器件是基于傳統(tǒng)的浮柵型成像器件結(jié)構(gòu)，由硅襯底B、源極S、漏極D、浮動?xùn)艠OFG、控制柵極CG構(gòu)成，其中，硅襯底B位于器件最下層；源極S和漏極D位于硅襯底B上，且相距一定距離；浮動?xùn)艠OFG位于器件結(jié)構(gòu)的中間層，在硅襯底之上，且在源極S和漏極D之間；控制柵極CG位于器件結(jié)構(gòu)的最上層，在浮動?xùn)艠OFG之上；該硅襯底B與該浮動?xùn)艠OFG之間，以及該浮動?xùn)艠OFG與該控制柵極CG之間都采用絕緣層隔離。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)成像器件結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述每組成像器件包括一個參考單元C0和一個成像單元C1，該參考單元C0和成像單元C1是結(jié)構(gòu)完全相同的成像器件，該參考單元C0和該成像器件C1相鄰排列且位于成像陣列中的同一列或同一行。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)成像器件結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述每組成像器件包括一個參考單元和兩個成像單元，該參考單元C0、第一成像單元C1和第二成像單元C2是結(jié)構(gòu)完全相同的成像器件，該參考單元C0位于第一成像單元C1與第二成像單元C2的中間，第一成像單元C?1和第二成像單元C2相對于參考單元C0呈對稱分布，并且參考單元C0、第一成像單元C1和第二成像單元C2分布在同一列或同一行上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)成像器件結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述每組成像器件包括一個參考單元和三個成像單元，該參考單元C0、第一成像單元C1、第二成像單元C2和第三成像單元C3是結(jié)構(gòu)完全相同的成像器件，該參考單元C0位于第一成像單元C1與第二成像單元C2的中間，第一成像單元C1和第二成像單元C2相對于參考單元C0呈對稱分布，并且參考單元C0、第一成像單元C1和第二成像單元C2分布在同一列或同一行上；

若參考單元C0、第一成像單元C1和第二成像單元C2排列在同一行上，第三成像單元C3則排列在位于參考單元C0同一列上且與參考單元C0相鄰的位置；

若參考單元C0、第一成像單元C1和第二成像單元C2位于同一列上，第三成像單元C3則位于參考單元C0的同一行上且與參考單元C0相鄰的位置。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)成像器件結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述每組成像器件包括一個參考單元和四個成像單元，該參考單元C0、第一成像單元C1、第二成像單元C2、第三成像單元C3和第四成像單元C4是結(jié)構(gòu)完全相同的成像器件，該參考單元C0位于第一成像單元C1與第二成像單元C2的中間，第一成像單元C1和第二成像單元C2相對于參考單元C0呈對稱分布，并且參考單元C0、第一成像單元C1和第二成像單元C2分布在同一列或同一行上；若參考單元C0、第一成像單元C1和第二成像單元C2排列在同一行上，第三成像單元C3則排列在位于參考單元C0同一列上且與參考單元C0相鄰的位置；若參考單元C0、第一成像單元C1和第二成像單元C2位于同一列上，第三成像單元C3則位于參考單元C0的同一行上且與參考單元C0相鄰的位置；

第四成像單元C4位于與參考單元C0和成像單元C3的同一行或同一列上，且位置與成像單元C3一起相對于參考單元C0對稱，因此，第一成像單元C1、參考單元C0、第二成像單元C2的分布與第三成像單元C3、參考單元C0、第四成像單元C4的分布都位于同一條直線上；若第一成像單元C1、參考單元C0、第二成像單元C2分布于同一行上，則第三成像單元C3、參考單元C0、第四成像單元C4分布于同一列上；反之若第一成像單元C1、參考單元C0、第二成像單元C2分布于同一列上，則第三成像單元C3、參考單元C0、第四成像單元C4分布于同一行上。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)成像器件結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述每組成像器件包括一個參考單元和至少五個的成像單元，而每組中的成像單元的部分分布在與參考單元相同的列上，而其他成像單元則分布在與參考單元相同的行上。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)成像器件結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述每組成像器件包括九個完全相同的基于傳統(tǒng)的浮柵型器件結(jié)構(gòu)的成像器件，這九個成像器件構(gòu)成一個三行、三列的陣列，其中位于最中心的，第二行、第二列的器件作為這一組器件的參考單元C0，其余八個器件作為成像單元。