[發明專利]外觀檢查用照明裝置和外觀檢查裝置無效
| 申請號: | 201010145116.6 | 申請日: | 2010-03-24 |
| 公開(公告)號: | CN101852370A | 公開(公告)日: | 2010-10-06 |
| 發明(設計)人: | 井戶勝也;立木隆好;太田真之 | 申請(專利權)人: | 索尼公司 |
| 主分類號: | F21S8/00 | 分類號: | F21S8/00;F21V7/10;F21V19/00;G01B11/00 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律師事務所 11105 | 代理人: | 馬高平 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 外觀 檢查 照明 裝置 | ||
1.一種外觀檢查用照明裝置,包括:
透射性反射板,由透光材料形成,在中心具有開口,呈以所述開口的中心軸為中心且半徑向下逐漸變大的圓頂形狀,并具有下表面和位于該下表面的相反側的上表面,所述下表面由反射面形成,該反射面形成有用于漫射并反射來自下方的光的細微凹凸;
第一光源單元、第二光源單元和第三光源單元,用于照射檢查對象,設置在所述透射性反射板的上表面上,并布置在位于所述開口下方且經過所述中心軸的位置;和
第四光源單元,用于照射所述檢查對象,并設置在透射性反射板下方,其中:
所述第一光源單元包括多個光源,這些光源布置在所述上表面上的以所述中心軸為中心的第一環形區域中,并且從這些光源發出的光穿過所述透射性反射板,并以第一角度與垂直于所述中心軸并通過所述檢查對象的虛擬平面相交,以照射所述檢查對象;
所述第二光源單元包括多個光源,這些光源布置在所述上表面上的以所述中心軸為中心且半徑大于第一環形區域的第二環形區域中,并且從這些光源發出的光穿過所述透射性反射板,并以小于所述第一角度的第二角度與所述虛擬平面相交,以照射所述檢查對象;
所述第三光源單元包括多個光源,這些光源布置在所述上表面上的以所述中心軸為中心且位于所述第一環形區域與所述第二環形區域之間的第三環形區域中,并且從這些光源發出的光穿過所述透射性反射板,并以介于所述第一角度與所述第二角度之間的第三角度與所述虛擬平面相交,以照射所述檢查對象;并且
所述第四光源單元包括沿所述透射性反射板的外周的下部布置的多個光源,從這些光源發出的光被所述透射性反射板的下表面漫射并反射,以照射所述檢查對象。
2.如權利要求1所述的外觀檢查用照明裝置,其中,
在所述透射性反射板上方設置有蓋,在該蓋與所述透射性反射板之間形成有容納空間,并且
所述第一光源單元、第二光源單元和第三光源單元被所述蓋支承,并容納在所述容納空間中。
3.如權利要求2所述的外觀檢查用照明裝置,其中,所述蓋的與所述透射性反射板相對的下表面由反射面形成。
4.如權利要求1所述的外觀檢查用照明裝置,其中,
在所述透射性反射板上方設置有蓋,在該蓋與所述透射性反射板之間形成有容納空間,
設置有保持所述透射性反射板的外周和所述蓋的外周的環形框,
在所述框中設置有位于所述透射性反射板的外周的下方并沿所述透射性反射板的外周延伸的環形板部,并且
所述第四光源單元被所述環形板部支承。
5.如權利要求1所述的外觀檢查用照明裝置,其中,
在所述第四光源單元下方設置有以所述中心軸為中心并呈環形形狀延伸的半透射性漫射板,
所述漫射板具有與所述檢查對象相對的前表面和位于該前表面相反側的后表面,
在所述后表面上布置有第五光源單元,并且
從所述第五光源單元發出的光穿過所述漫射板,并以小于所述第二角度的第四角度與所述虛擬平面相交,以照射所述檢查對象。
6.如權利要求1所述的外觀檢查用照明裝置,其中,
所述第三環形區域沿圓周方向被分成多個照明區域,并且
在所述第三光源單元中,位于各照明區域中的各光源被選擇性地打開。
7.如權利要求5所述的外觀檢查用照明裝置,其中,
所述第五光源單元布置成以所述中心軸為中心的環形區域,
該環形區域沿圓周方向被分成多個照明區域,
所述第五光源單元包括布置在該環形區域中的多個光源,并且
在所述第五光源單元中,位于各照明區域中的各光源被選擇性地打開。
8.一種外觀檢查裝置,包括:
基臺,包括載置檢查對象的基臺本體和從所述基臺本體直立的支柱;
攝像裝置,被所述支柱支承,并且該攝像裝置的攝像光學系統的光軸指向下方;
透射性反射板,被所述支柱支承,由透光材料形成,在中心具有供所述攝像裝置從上方插入的開口,呈以所述開口的中心軸為中心且半徑向下逐漸變大的圓頂形狀,并具有下表面和位于該下表面的相反側的上表面,所述下表面由反射面形成,該反射面形成有用于漫射并反射來自下方的光的細微凹凸;
第一光源單元、第二光源單元和第三光源單元,用于照射檢查對象,設置在所述透射性反射板的上表面上,并布置在位于所述開口下方且經過所述中心軸的位置;和
第四光源單元,用于照射所述檢查對象,并設置在透射性反射板下方,其中
所述第一光源單元包括多個光源,這些光源布置在所述上表面上的以所述中心軸為中心的第一環形區域中,并且從這些光源發出的光穿過所述透射性反射板,并以第一角度與垂直于所述中心軸并通過所述檢查對象的虛擬平面相交,以照射所述檢查對象;
所述第二光源單元包括多個光源,這些光源布置在所述上表面上的以所述中心軸為中心且半徑大于第一環形區域的第二環形區域中,并且從這些光源發出的光穿過所述透射性反射板,并以小于所述第一角度的第二角度與所述虛擬平面相交,以照射所述檢查對象;
所述第三光源單元包括多個光源,這些光源布置在所述上表面上的以所述中心軸為中心且位于所述第一環形區域與所述第二環形區域之間的第三環形區域中,并且從這些光源發出的光穿過所述透射性反射板,并以介于所述第一角度與所述第二角度之間的第三角度與所述虛擬平面相交,以照射所述檢查對象;并且
所述第四光源單元包括沿所述透射性反射板的外周的下部布置的多個光源,從這些光源發出的光被所述透射性反射板的下表面漫射并反射,以照射所述檢查對象。
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