[發明專利]感光性組合物、感光性膜及永久圖形形成方法

無效

• 申請號: 201010144836.0
• 申請日: 2010-03-24
• 公開（公告）號: CN101846883A
• 公開（公告）日: 2010-09-29
• 發明（設計）人: 池田貴美;石川博之;有岡大輔
• 申請（專利權）人: 富士膠片株式會社
• 主分類號: G03F7/027
• 分類號: G03F7/027;G03F7/031;G03F7/00
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 朱丹

1.一種感光性組合物，其特征在于，分別含有至少一種光聚合引發劑、至少一種下述第一敏化劑、和至少一種下述第二敏化劑，

所述第一敏化劑在設對365nm的波長的光的摩爾吸光系數為ε_365nm、對405nm的波長的光的摩爾吸光系數為ε_405nm時，滿足下式：ε_365nm/ε_405nm＞7的關系式；所述第二敏化劑滿足下式：ε_405nm/ε_365nm＞7的關系式。

2.如權利要求1所述的感光性組合物，其中，光聚合引發劑含有對365nm～405nm的波長區域的光的摩爾吸光系數小于400的肟酯化合物。

3.如權利要求1所述的感光性組合物，其中，第一敏化劑為下述通式(I)表示的化合物，

其中，所述通式(I)中，X表示O、S或NR，R表示氫原子、烷基及酰基的任意一種；n表示0或1的整數；R¹、R²、R³、R⁴、R⁵、R⁶、R⁷及R⁸各自獨立地表示氫原子或中性的一價取代基；另外，R¹、R²、R³及R⁴中各自相鄰的兩個可以相互連結而形成環；R⁵或R⁶、與R⁷或R⁸，可以相互連結而形成脂肪環，但不形成芳香環。

4.如權利要求1所述的感光性組合物，其中，含有熱交聯劑，所述熱交聯劑含有選自環氧化合物、氧雜環丁烷化合物、多異氰酸酯化合物、使多異氰酸酯化合物與封閉劑反應而得到的化合物及三聚氰胺衍生物的至少任意一種。

5.一種感光性膜，其特征在于，在支承體上具有由感光性組合物形成的感光層，所述感光性組合物分別含有至少一種光聚合引發劑、至少一種下述第一敏化劑、和至少一種下述第二敏化劑，所述第一敏化劑在設對365nm的波長的光的摩爾吸光系數為ε_365nm、對405nm的波長的光的摩爾吸光系數為ε_405nm時，滿足下式：ε_365nm/ε_405nm＞7的關系式；所述第二敏化劑滿足下式：ε_405nm/ε_365nm＞7的關系式。

6.一種永久圖形形成方法，其特征在于，至少包括：

曝光工序，對涂布感光性組合物而形成的感光層進行曝光，所述感光性組合物分別含有至少一種光聚合引發劑、至少一種下述第一敏化劑、和至少一種下述第二敏化劑，所述第一敏化劑在設對365nm的波長的光的摩爾吸光系數為ε_365nm、對405nm的波長的光的摩爾吸光系數為ε_405nm時，滿足下式：ε_365nm/ε_405nm＞7的關系式，所述第二敏化劑滿足下式：ε_405nm/ε_365nm＞7的關系式；

顯影工序，對所述已曝光的感光層進行顯影；和

固化處理工序，對所述已顯影的感光層進行固化處理。