[發(fā)明專利]襯底貼合設備和方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201010144626.1 | 申請日： | 2008-06-20 |
| 公開（公告）號： | CN101813847A | 公開（公告）日： | 2010-08-25 |
| 發(fā)明（設計）人： | 黃載錫;黃甫成權 | 申請（專利權）人： | 愛德牌工程有限公司 |
| 主分類號： | G02F1/1333 | 分類號： | G02F1/1333;B32B38/18 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 11127 | 代理人： | 李輝 |
| 地址： | 韓國*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 襯底 貼合 設備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種襯底卡盤，包括：
表面板，包括用于附著襯底的膠粘劑；以及
分離單元，設置在所述表面板上，用來使所述襯底從所述表面板分離，
其中，所述分離單元包括：
膨脹構件，所述膨脹構件膨脹到被所述膠粘劑附著的所述襯底的附著表面；
安裝單元，在所述安裝單元中安裝有所述膨脹構件，所述安裝單元形成 在所述表面板上，用于形成氣密空間；
加熱單元，用于加熱所述安裝單元中的空氣，以使所述膨脹構件膨脹， 其中，所述膨脹構件包括膜片，所述加熱單元包括熱絲。
2.如權利要求1所述的襯底卡盤，其中，支承構件被設置在所述安裝單 元中，以在所述膨脹構件返回到未膨脹位置時防止所述膨脹構件變形。
3.如權利要求1所述的襯底卡盤，其中，所述膠粘劑圍繞著所述分離單 元的周邊形成。
4.如權利要求1所述的襯底卡盤，其中，所述膠粘劑基本上具有橢圓形 或者三角形中的一種形狀。
5.如權利要求4所述的襯底卡盤，其中，具有橢圓形或者三角形中一種 形狀的多處膠粘劑被設置成使所述多處膠粘劑的每個頂點圍繞著所述分離單 元的周邊放置。
6.如權利要求1所述的襯底卡盤，其中，多處膠粘劑沿著徑向圍繞著所 述分離單元的周邊設置。
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