[發(fā)明專利]一種大口徑石英玻璃基板的復合磨削方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010144416.2
• 申請日: 2010-04-12
• 公開（公告）號: CN101797709A
• 公開（公告）日: 2010-08-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 仇中軍;房豐洲;李晗哲
• 申請（專利權(quán)）人: 天津大學
• 主分類號: B24B7/24
• 分類號: B24B7/24;B24B1/00
• 代理公司: 天津市北洋有限責任專利代理事務(wù)所 12201
• 代理人: 王麗英

1.一種大口徑石英玻璃基板的復合磨削方法，其特征在于它包括以下步驟：

(1)將專用砂輪安裝在立式端面磨床上對其預磨進行精密整形直至專用砂輪的面型精度達到預定的形狀精度要求；

(2)將經(jīng)過粗加工的石英玻璃基板，清洗后安裝在立式端面磨床主軸上；

(3)啟動立式端面磨床主軸帶動石英玻璃基板旋轉(zhuǎn)，利用專用磨削液噴射石英玻璃基板表面，使石英玻璃基板表面和專用磨削液間發(fā)生充分的化學反應(yīng)；

(4)啟動砂輪軸帶動專用砂輪旋轉(zhuǎn)，驅(qū)動主軸帶動石英玻璃基板進給，同時使砂輪軸作左右往返運動實現(xiàn)對石英玻璃基板整個表面的均勻磨削，磨削過程中控制石英玻璃基板與專用砂輪間的磨削壓力，使專用砂輪以恒壓的方式對石英玻璃基板進行材料去除，磨削過程中專用磨削液持續(xù)噴射石英玻璃基板表面；

(5)觀察石英玻璃基板被加工表面，當整個表面都被磨削到以后，再繼續(xù)無進給加工至少5min后，按照石英玻璃基板-專用砂輪-專用磨削液的順序停止加工，將石英玻璃基板卸下來后，重復步驟(2)～(4)完成石英玻璃基板另一側(cè)表面的加工；

(6)將完成兩側(cè)表面加工的石英玻璃基板利用乙醇乙醚混合液清洗后，再放入超聲波清洗裝置清洗；清洗后的石英玻璃基板放入干燥裝置進行干燥，完成玻璃基板的加工工序；

所述的專用砂輪以體積百分比計由以下組分組成：磨料20～35％，結(jié)合劑40～50％，氣孔15～40％，結(jié)合劑采用添加了質(zhì)量百分比為2～10％碳酸鹽的酚醛樹脂或改性環(huán)氧樹脂，磨料采用氧化鈰；

所述的專用磨削液的組分以重量百分比計由0.5～1.5％的磷酸鈉、0.5～2％的三乙醇胺、0.5～1.5％的丙三醇，5～10％的硝酸鋅和85～93.5％的純凈水組成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大口徑石英玻璃基板的復合磨削方法，其特征在于：所述的步驟(4)中以恒壓的方式對玻璃基板進行加工，壓力的范圍控制在30-120kPa。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大口徑石英玻璃基板的復合磨削方法，其特征在于：在所述的步驟(3)中加工前石英玻璃基板表面和專用磨削液間化學反應(yīng)時間控制在3-10分鐘。