[發(fā)明專利]激光調(diào)阻基片快速精確定位方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010144362.X
• 申請日: 2010-03-16
• 公開（公告）號: CN101923356A
• 公開（公告）日: 2010-12-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張學忠;張麗;陳偉;宋江巖
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇和利普激光科技有限公司
• 主分類號: G05D3/12
• 分類號: G05D3/12;H01C17/242
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種激光調(diào)阻基片快速精確定位方法，提出了一種將圖像識別和光柵反饋相結(jié)合進行基片快速精確定位方法。包括振鏡掃描頭組件、CCD圖像采集組件、含有光柵反饋系統(tǒng)的電動平臺組件、微機控制單元和激光發(fā)生器組件。其特征在于平臺拖動基片到振鏡掃描頭下方激光焦點后，系統(tǒng)進行下述步驟對基片進行矯正定位：1)圖像采集組件采集基片圖像信息并送到控制單元與基準圖像比較得出兩者的偏差值；2)如果上述偏差大于設(shè)定的閥值，控制單元計算出該偏差對應的平臺兩個軸移動分別需要的脈沖數(shù)，控制單元根據(jù)該脈沖數(shù)并根據(jù)光柵反饋位置信息移動平臺進行矯正，平臺矯正結(jié)束后，返回1)；3)如果上述偏差小于設(shè)定的閥值，控制單元計算出上述偏差量對應兩軸掃描電機偏轉(zhuǎn)所需要的電壓值，控制單元根據(jù)該電壓值，控制掃描電機矯正到精確的位置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種激光調(diào)阻基片快速精確定位方法，其特征在于所述自動平臺拖動基片到振鏡掃描頭下方激光焦點處。控制單元根據(jù)光柵反饋位置信息計算出平臺實際位移量，并與目標位置進行比較，直到兩者偏差達到要求精度后平臺停止運動。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種激光調(diào)阻基片快速精確定位方法，其特征在于所述基片視圖與基準視圖偏差大于設(shè)定閥值時，采用平臺定位矯正，否則采取掃描振鏡偏轉(zhuǎn)矯正。

4.根據(jù)權(quán)利要求1、2所述的一種激光調(diào)阻基片快速精確定位方法，其特征在于所述控制單元包括計算機、脈沖發(fā)生卡、D/A轉(zhuǎn)換卡、脈沖計數(shù)卡、控制軟件。