[發(fā)明專利]一種納米光柵的制作方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010143946.5
• 申請日: 2010-04-09
• 公開（公告）號: CN101846760A
• 公開（公告）日: 2010-09-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 羅靜;王春歡;張微;詹捷
• 申請（專利權(quán)）人: 重慶理工大學(xué)
• 主分類號: G02B5/18
• 分類號: G02B5/18;G01Q60/10
• 代理公司: 重慶博凱知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 50212
• 代理人: 李曉兵

1.一種納米光柵的制作方法，其特征是：在光學(xué)玻璃表面上鍍一層導(dǎo)電薄膜，構(gòu)成光柵基體，薄膜厚度范圍為30nm～90nm；將光柵基體固定在納米進(jìn)給工作臺上，用掃描隧道顯微測量裝置在受控狀態(tài)下帶動(dòng)探針沿Y軸方向運(yùn)動(dòng)，掃描隧道顯微測量裝置的脈沖電壓發(fā)生器產(chǎn)生脈沖電壓，經(jīng)執(zhí)行器施加在探針上，對光柵基體進(jìn)行刻線加工；當(dāng)一條柵線的刻線加工完成后，納米進(jìn)給工作臺帶動(dòng)光柵基體向X軸方向移動(dòng)，移動(dòng)位移量為10nm～80nm，移動(dòng)到位后固定，重復(fù)前述刻線加工過程，在光學(xué)玻璃表面上制得納米光柵。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米光柵的制作方法，其特征是：掃描隧道顯微測量裝置的壓電陶瓷管與探針連接，壓電陶瓷管在受控狀態(tài)下沿Y軸方向運(yùn)動(dòng)，帶動(dòng)探針沿Y軸方向運(yùn)動(dòng)。

3.一種實(shí)現(xiàn)權(quán)利要求1所述制作方法的掃描隧道顯微測量裝置，包括基座(1)，在基座(1)上設(shè)置可移動(dòng)的納米進(jìn)給工作臺(2)，光柵基體(15)設(shè)置在納米進(jìn)給工作臺(2)上；其特征是：微進(jìn)給機(jī)構(gòu)(11)設(shè)置在基座(1)上，微進(jìn)給機(jī)構(gòu)(11)能在受控狀態(tài)下移動(dòng)，產(chǎn)生一定的位移；連接桿(10)連接在微進(jìn)給機(jī)構(gòu)(11)上，位于光柵基體(15)上方的探針(14)連接在連接桿(10)上，微進(jìn)給機(jī)構(gòu)(11)通過連接桿(10)驅(qū)動(dòng)探針(14)向光柵基體(15)移動(dòng)；

在探針(14)與光柵基體(15)之間，設(shè)置隧道偏壓電路(3)，信號采集系統(tǒng)(4)連接在隧道偏壓電路(3)上，信號采集系統(tǒng)(4)經(jīng)信號處理系統(tǒng)(5)與計(jì)算機(jī)(6)連接，采集到的隧道電流信號輸送到信號處理系統(tǒng)(5)內(nèi)進(jìn)行處理、計(jì)算，輸入到計(jì)算機(jī)(6)內(nèi)；計(jì)算機(jī)(6)的輸出端與微進(jìn)給機(jī)構(gòu)(11)的控制器連接，計(jì)算機(jī)(6)發(fā)出信號控制微進(jìn)給機(jī)構(gòu)(11)，使探針(14)與光柵基體(15)之間的間隙d保持恒定；

脈沖電壓發(fā)生器(7)與執(zhí)行器(8)連接，經(jīng)執(zhí)行器(8)施加在探針(14)上進(jìn)行刻線加工。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的掃描隧道顯微測量裝置，其特征在于：脈沖電壓發(fā)生器(7)、壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器(9)與計(jì)算機(jī)(6)的輸出端連接，受計(jì)算機(jī)(6)輸出的信號控制；壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器(9)與壓電陶瓷管(13)連接，探針(14)與壓電陶瓷管(13)連接，或設(shè)置在壓電陶瓷管(13)上，計(jì)算機(jī)(6)控制壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器(9)控制壓電陶瓷管(13)沿Y軸方向運(yùn)動(dòng)，帶動(dòng)探針(14)沿Y軸方向完成整條柵線的加工；當(dāng)一條柵線的加工完成后，在計(jì)算機(jī)(6)的控制下，納米進(jìn)給工作臺(2)向X軸方向移動(dòng)。