[發(fā)明專利]提高半導(dǎo)體制冷系統(tǒng)穩(wěn)定性的裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010143650.3
• 申請(qǐng)日: 2010-04-09
• 公開（公告）號(hào): CN102213502A
• 公開（公告）日: 2011-10-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 余小虎;聶宏飛;余斌;羅晉;金敏;龔岳俊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): F25B21/02
• 分類號(hào): F25B21/02;F25B49/00
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

1.一種提高半導(dǎo)體制冷系統(tǒng)穩(wěn)定性的裝置，其特征在于，包括半導(dǎo)體制冷器，所述半導(dǎo)體制冷器包括冷端以及設(shè)置于其兩側(cè)的熱端，所述冷端與其兩端的熱端之間分別設(shè)置有半導(dǎo)體制冷片，需要被冷卻的介質(zhì)從第一管路接口處流入，通過半導(dǎo)體制冷器的冷端后，從第二管路接口流出，冷卻水從第三管路接口處流入，通過半導(dǎo)體制冷器的熱端后，從第四管路接口流出，其中，所述冷卻水流入熱端的部分通過電控流量調(diào)節(jié)閥調(diào)節(jié)，所述半導(dǎo)體制冷片上靠近熱端部分設(shè)置有溫度傳感器。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提高半導(dǎo)體制冷系統(tǒng)穩(wěn)定性的裝置，其特征在于，所述溫度傳感器用于測(cè)量半導(dǎo)體制冷器熱端的溫度，所述電控流量調(diào)節(jié)閥用于控制冷卻水流量的大小，電控流量調(diào)節(jié)閥根據(jù)溫度傳感器所測(cè)量的半導(dǎo)體制冷器熱端的溫度進(jìn)行調(diào)節(jié)，控制冷卻水的流量。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的提高半導(dǎo)體制冷系統(tǒng)穩(wěn)定性的裝置，其特征在于，當(dāng)熱端溫度高于設(shè)定值時(shí)，通過電控流量調(diào)節(jié)閥增大冷卻水的流量，降低熱端的溫度，當(dāng)熱端溫度低于設(shè)定值時(shí)則減小冷卻水的流量。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提高半導(dǎo)體制冷系統(tǒng)穩(wěn)定性的裝置，其特征在于，該裝置包括激勵(lì)模塊為所述溫度傳感器提供激勵(lì)電壓或電流。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的提高半導(dǎo)體制冷系統(tǒng)穩(wěn)定性的裝置，其特征在于，所述激勵(lì)模塊為恒流源。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提高半導(dǎo)體制冷系統(tǒng)穩(wěn)定性的裝置，其特征在于，該裝置包括控制器用于根據(jù)所述溫度傳感器調(diào)節(jié)電動(dòng)流量調(diào)節(jié)閥的開度，從而控制流過半導(dǎo)體制冷器內(nèi)冷卻水的流量。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的提高半導(dǎo)體制冷系統(tǒng)穩(wěn)定性的裝置，其特征在于，所述控制器內(nèi)部寫入PID控制算法或比例控制算法，以控制電動(dòng)流量調(diào)節(jié)閥的調(diào)節(jié)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提高半導(dǎo)體制冷系統(tǒng)穩(wěn)定性的裝置，其特征在于，所述熱端由熱端端蓋和熱端腔體組成，所述熱端腔體內(nèi)部具有流道，外部冷卻水液體從中流經(jīng)，將熱端的熱量帶走。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提高半導(dǎo)體制冷系統(tǒng)穩(wěn)定性的裝置，其特征在于，所述冷端由兩個(gè)冷端端蓋和之間的冷端腔體組成，需要被冷卻的介質(zhì)從冷端腔體中流經(jīng)時(shí)被冷卻。