[發明專利]用機器人服務等離子體處理系統的方法

有效

• 申請號: 201010143239.6
• 申請日: 2006-03-24
• 公開（公告）號: CN101817179A
• 公開（公告）日: 2010-09-01
• 發明（設計）人: 安德魯三世·D·貝利
• 申請（專利權）人: 朗姆研究公司
• 主分類號: B25H1/00
• 分類號: B25H1/00
• 代理公司: 上海華暉信康知識產權代理事務所(普通合伙) 31244
• 代理人: 樊英如

1.一種用于服務等離子體處理系統的方法，該等離子體處理系統 至少包括等離子體室，該等離子體室包括頂部部件和底部部 件，該頂部部件置于該底部部件上方，該方法包含：

使用機器人設備以控制提升機構從該底部部件提升該頂 部部件；

根據一組預定服務程序，將該機器人設備的機械手臂的 第一部分伸入該頂部部件中以執行第一組預定任務；以及

根據所述的一組預定服務程序，將該機器人設備的機械 手臂的第二部分伸入該底部部件中以執行第二組預定任務。

2.根據權利要求1所述的方法，其中該第一組預定任務至少包括 使用清潔墊板至少清潔該頂部部件的一組內壁，該方法進一步 包含當在該清潔墊板和該頂部部件的該組內壁的表面之間測 得的摩擦力變得小于特定值時，停止該清潔。

3.根據權利要求1所述的方法，其中該第一組預定任務至少包 括除去該頂部部件內的等離子體室部件。

4.根據權利要求1所述的方法，其中該第一組預定任務至少包 括放置該頂部部件內的等離子體室部件。

5.根據權利要求1所述的方法，其中該第一組預定任務至少包括 對準該頂部部件內的等離子體室部件。

6.根據權利要求1所述的方法，其中該第一組預定任務包括在該 頂部部件內執行編程好的浸泡。

7.根據權利要求1所述的方法，其中該第一組預定任務包括在該 頂部部件內用刷子執行摩擦，其中所述刷子為PVA刷子、擦拭 器和摩擦劑墊板中的任一種。

8.根據權利要求1所述的方法，其中該第一組預定任務包括執 行抽真空以從該頂部部件內除去微粒。

9.根據權利要求1所述的方法，進一步包含確定一組重量和幾何 形狀限制，其中該第一組預定任務至少包括根據該組重量和幾 何形狀限制從該頂部部件內更換可消耗結構。

10.根據權利要求1所述的方法，進一步包含確定一組轉矩要求， 其中該第一組預定任務至少包括根據該組轉矩要求，將該頂部 部件內的一組鎖閂拉緊。

11.一種用于服務等離子體處理系統的方法，該等離子體處理系統 至少包括等離子體室，該方法包含：

將機器人設備的機械手臂伸入該等離子體室中；以及

在伸入之后，當該等離子體處理系統處于正常操作過程 中時，根據一組程序執行一組任務。

12.根據權利要求11所述的方法，其中該組任務至少包括至少清 潔該等離子體室的一組內壁，該方法進一步包含當該等離子體 室的該組內壁的表面的顏色與參考樣本顏色相匹配時，停止該 清潔。

13.根據權利要求11所述的方法，其中該組任務至少包括除去該 等離子體室內的等離子體室部件。

14.根據權利要求11所述的方法，其中該組任務至少包括放置該 等離子體室內的等離子體室部件。

15.根據權利要求11所述的方法，其中該組任務至少包括對準該 等離子體室內的等離子體室部件。

16.根據權利要求11所述的方法，其中該組任務包括在該等離子 體室內執行編程好的浸泡。

17.根據權利要求11所述的方法，其中該組任務包括在該等離子 體室內用刷子執行摩擦，其中所述刷子為PVA刷子、擦拭器和 摩擦劑墊板中的任一種。

18.根據權利要求11所述的方法，其中該組任務包括執行抽真空 以從該等離子體室內除去微粒。

19.根據權利要求11所述的方法，進一步包含確定一組重量和幾 何形狀限制，其中該組任務至少包括根據該組重量和幾何形狀 限制從該頂部部件內更換可消耗結構。

20.根據權利要求11所述的方法，進一步包含確定一組轉矩要求， 其中該組任務至少包括根據該組轉矩要求，將該等離子體室內 的一組鎖閂拉緊。