[發明專利]納米磁性液體微致動泵

有效

• 申請號: 201010142361.1
• 申請日: 2010-03-23
• 公開（公告）號: CN101873052A
• 公開（公告）日: 2010-10-27
• 發明（設計）人: 劉同岡;候友夫;劉書進;吳健;夏聰;王松;錢子航;劉桐
• 申請（專利權）人: 中國礦業大學
• 主分類號: H02K44/02
• 分類號: H02K44/02
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司 32200
• 代理人: 唐惠芬

1.一種納米磁性液體微致動泵，其特征在于：它包括由鍵合層(8)鍵合為一體的上基片(5)、中基片(6)和下基片(7)，上基片(5)的內側設有左、中、右三個凹槽，上基片(5)與中基片(6)之間間隔有微管道(16)，中基片(6)上設有與上基片(5)三個凹槽相對應的左、中、右三個磁性液體工作腔(10、12、14)，中基片(6)與下基片(7)之間設有一層可分別穿過左、中、右三個磁性液體工作腔(10、12、14)進入左、中、右三個凹槽的彈性薄膜(15)，可分別穿過左、中、右三個磁性液體工作腔(10、12、14)的彈性薄膜(15)內分別設有出口閥的磁性液體(9)、微致動體的磁性液體(11)和入口閥的磁性液體(13)；對應上基片(5)內側的左凹槽頂部內設有入口閥微型電磁線圈(1)，對應上基片(5)內側的中凹槽頂部內兩側分別設有微致動體左側電磁線圈(2)和微致動體右側電磁線圈(3)，對應上基片(5)內側的右凹槽頂部內設有出口閥微型電磁線圈(4)。

2.根據權利要求1所述的納米磁性液體微致動泵，其特征在于：所述的彈性薄膜(15)由硅橡膠或聚甲基丙烯酸甲酯制成。

3.根據權利要求1所述的納米磁性液體微致動泵，其特征在于：所述的上基片(5)、中基片(6)和下基片(7)由單晶硅、玻璃、有機玻璃、聚合物或非導磁金屬材料制成。

4.根據權利要求1所述納米磁性液體微致動泵，其特征在于：所述的微型電磁線圈由石英基片(17)及電鍍在其上的鐵鎳合金磁芯(18)和圍繞在磁心周圍的銅質繞組(19)構成。

5.根據權利要求1所述的納米磁性液體微致動泵，其特征在于：所述的上基片(5)、中基片(6)和下基片(7)水平或豎直反向布置。