[發明專利]用于生產多晶硅的反應器及系統

有效

• 申請號: 201010141882.5
• 申請日: 2010-04-08
• 公開（公告）號: CN102134745A
• 公開（公告）日: 2011-07-27
• 發明（設計）人: 陳涵斌;陳其國;鐘真武;陳文龍
• 申請（專利權）人: 江蘇中能硅業科技發展有限公司
• 主分類號: C30B29/06
• 分類號: C30B29/06;C30B28/14
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 周春梅

1.一種用于生產多晶硅的反應器，其包括底盤和罩在所述底盤上的筒體，所述底盤上密集地設有多對硅芯座、至少一個進氣口和至少一個排氣口，硅芯座中心、進氣口中心和排氣口中心一起在所述底盤上構成中心點陣，其特征在于：所述中心點陣的至少一部分中心點與相鄰中心點之間的距離都相等。

2.根據權利要求1所述的反應器，其特征在于：至少部分中心點中的任意相鄰的三個中心點構成正三角形。

3.根據權利要求2所述的反應器，其特征在于：位于所述底盤中部的任意相鄰的三個中心點構成正三角形。

4.根據權利要求3所述的反應器，其特征在于：位于所述底盤外部的中心點沿所述底盤的圓周向布置在至少一個圓周上。

5.根據權利要求2所述的反應器，其特征在于：位于所述底盤外部的任意相鄰的三個中心點構成正三角形。

6.根據權利要求5所述的反應器，其特征在于：位于所述底盤中部的中心點沿所述底盤的圓周向布置在至少一個圓周上。

7.根據權利要求4或6所述的反應器，其特征在于：布置在所述圓周上的硅芯座中心點為偶數。

8.根據權利要求1所述的反應器，其特征在于：所有中心點與相鄰中心點之間的距離均相等。

9.根據權利要求3或5所述的反應器，其特征在于：任意相鄰的三個中心點構成正三角形。

10.根據權利要求1所述的反應器，其特征在于：任意兩個相鄰中心點之間的距離為150mm～300mm，優選為210mm～250mm。

11.根據權利要求1所述的反應器，其特征在于：所述筒體由金屬材料制成，并且所述筒體設有冷卻夾套以供冷卻介質從其中流過。

12.根據權利要求1所述的反應器，其特征在于：所述筒體設有至少一個觀察窗。

13.根據權利要求1所述的反應器，其特征在于：所述筒體包括封頭和筒身，所述筒身高度為1.8m～3m，優選為2.1m～2.8m。

14.根據權利要求1所述的反應器，其特征在于：與所述筒身的內壁相鄰的硅芯座中心點與該內壁之間的距離可都相等。

15.根據權利要求14所述的反應器，其特征在于：所述距離為150mm～300mm，優選為180mm～230mm。

16.根據權利要求1所述的反應器，其特征在于：所述底盤由金屬材料制成，并且所述底盤設有冷卻夾套以供冷卻介質從其中流過。

17.根據權利要求1所述的反應器，其特征在于：所述硅芯座由石墨材料制成。

18.根據權利要求1所述的反應器，其特征在于：每個硅芯座可接納一根棒狀硅芯，所述硅芯經其下端豎向插入所述硅芯座，所述硅芯的上端與相鄰的另一根硅芯的上端經由連接件聯接成配對硅芯，以允許施加電流通過該配對硅芯。

19.根據權利要求18所述的反應器，其特征在于：所述硅芯的電阻率與待生產的多晶硅的電阻率相同。

20.根據權利要求18或19所述的反應器，其特征在于：所述連接件為水平放置的硅棒，所述硅棒短于所述硅芯。

21.根據權利要求20所述的反應器，其特征在于：所述硅棒和所述硅芯由相同材料制成。

22.根據權利要求20所述的反應器，其特征在于：所述硅芯和所述硅棒可以通過直拉法、區熔法或切割法生產，所述硅芯和所述硅棒可以是任意適合的形狀。

23.根據權利要求18所述的反應器，其特征在于：所述硅芯的直徑或當量直徑為6mm～20mm，優選為8mm～10mm，高度為1.8m～3m，優選為2m～2.8m。

24.一種用于生產棒狀多晶硅的系統，其包括根據權利要求1-23任一項所述的反應器。