[發明專利]一種低溫型水系正膠剝離液

無效

• 申請號: 201010139071.1
• 申請日: 2010-04-01
• 公開（公告）號: CN101799639A
• 公開（公告）日: 2010-08-11
• 發明（設計）人: 殷福華;欒成;邵勇;朱龍
• 申請（專利權）人: 江陰市江化微電子材料有限公司
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42
• 代理公司: 南京眾聯專利代理有限公司 32206
• 代理人: 何軍

一、技術領域

本發明涉及一種低溫型水系正膠剝離液，尤其涉及一種用于FPD面板生產的光阻剝離的低溫型水系正膠剝離液。

二、背景技術

低溫型水系正膠剝離液，透明易揮發性液體，易燃，密度(20℃)約為1.0g/ml。低溫型水系正膠剝離液主要用于用于FPD面板生產的光阻剝離，其使用工藝溫度為80℃左右；目前正膠剝離液主要由乙醇胺(MEA)、二甲基亞砜(DMSO)和超純水組成，該產品主要存在以下幾點缺點：

①用該低溫型水系正膠剝離液進行光阻剝離時容易對光阻保護的金屬層產生攻擊，導致產品良率降低；

②該低溫型水系正膠剝離液的使用工藝溫度要求較高，需加熱到80℃左右，能耗較大；

③乙醇胺(MEA)和二甲基亞砜(DMSO)對環境污染大且對人體健康有較大傷害。

④

三、技術內容

針對上述缺點，本發明的目的在于提供一種進行光阻剝離時不攻擊金屬層、使用工藝溫度低、對環境無污染小和對人體健康傷害小的低溫型水系剝離液。

本發明的技術內容為，一種低溫型水系正膠剝離液，其特征是它包括以下質量百分比的組份：

N-甲基吡咯烷酮(NMP)????29～31

二甲基乙酰胺(DMAC)?????23.7～27.7

二乙二醇丁醚(BDG)??????24～26

水?????????????????????17～23。

本發明的低溫型水系正膠剝離液的制備方法，為常規技術即為：

(1)、通過自動上料系統將原料NMP、DMAC、BDG依次打入一調配罐中，當所需要的重量達到后自動停止上料，再開動隔膜泵，經過0.5um過濾器循環過濾2小時；

(2)、將上述制得的混合液經0.2μm的過濾器過濾，以去除混合液中粒徑大于0.2μm的有害粒子，即得低溫型水系正膠剝離液。

本發明在不改變客戶使用效果的前提下，改變配方，提高產品的光阻剝離性能，降低工藝條件溫度，并且避免了原來使用的正膠剝離液造成的對人體和環境造成的損害，本方法能適用于大規模生產。

本發明與現有技術相比所具有的優點是：

1、本發明的低溫型水系正膠剝離液進行光阻剝離時不會攻擊金屬層。

2、本發明的低溫型水系正膠剝離液工藝溫度條件為60℃，低于原來的工藝溫度80℃，能耗降低。

3、本發明的低溫型水系正膠剝離液中的組份對人體健康危害和環境污染小。

四、具體實施例

下面通過實施例進一步描述本發明，但未限于所舉的實施例。

含量99％的N-甲基吡咯烷酮(NMP)，電子級，江陰市江化微電子材料有限公司生產；其指標如表1