[發(fā)明專利]一種管狀陰極受控電弧等離子體蒸發(fā)離化源

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010138873.0
• 申請日: 2010-04-06
• 公開（公告）號: CN102102178A
• 公開（公告）日: 2011-06-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王殿儒
• 申請（專利權(quán)）人: 王殿儒
• 主分類號: C23C14/32
• 分類號: C23C14/32
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種管狀陰極受控電弧等離子體蒸發(fā)離化源，其特征是在真空鍍膜室內(nèi)，圍繞軸線旋轉(zhuǎn)的管狀陰極的兩端，經(jīng)過可控開關(guān)各接入一個電弧電源，與陽極之間引燃電弧后，通過開關(guān)的控制，當(dāng)一個弧電源接通時，另一個弧電源斷開，再切換到另一個電源接通時，則原來一個弧電源斷開。交替有序地控制這兩個開關(guān)，使電弧有序地從這一端向那一端之間做往復(fù)運動，即可使管狀電弧陰極的表面材料蒸發(fā)和電離。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述，一種管狀陰極受控電弧等離子體蒸發(fā)離化源，其特征是所采用的開關(guān)是電子開關(guān)，可按程序自動控制其快速開啟和關(guān)閉。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述，一種管狀陰極受控電弧等離子體蒸發(fā)離化源，其特征是所述的電弧電源是具有下降外特性的直流電源，空載電壓大于50V，電流在20～400A之間。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述，一種管狀陰極受控電弧等離子體蒸發(fā)離化源，其特征是所述的管狀陰極材料采用的是金屬及其合金。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述，一種管狀陰極受控電弧等離子體蒸發(fā)離化源，其特征是管狀陰極一個方向用屏蔽罩遮擋，電弧放電在另一個方向進行，實現(xiàn)定向蒸發(fā)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1和權(quán)利要求5所述，蒸發(fā)源的屏蔽罩的特征是屏蔽罩的遮擋的角度在180°～320°之間。