[發(fā)明專利]偏光性衍射元件

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010135172.1
• 申請日: 2010-03-11
• 公開（公告）號: CN101840014A
• 公開（公告）日: 2010-09-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 牛野卓浩;伊藤克美;長尾敦記;伊藤蘭
• 申請（專利權(quán)）人: JSR株式會社
• 主分類號: G02B5/30
• 分類號: G02B5/30;G02B5/18;G11B7/135
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 左嘉勛;顧晉偉

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及可以在能夠?qū)獗P等光記錄介質(zhì)進行信息的記錄或再生的光拾波器裝置等的光學體系中使用的偏光性衍射元件。

背景技術(shù)

由于非接觸、每單位體積的信息量多、高速處理存取性、低成本等理由，光盤裝置近年來成為大幅增長的光學信息記錄/再生裝置，利用這些特征，開發(fā)出了各種記錄介質(zhì)。例如，開發(fā)出了與下述對應(yīng)的光拾波器裝置：將預(yù)先記錄的信息作為聲音、圖像或計算機用程序等進行再生的壓縮盤(CD)、激光盤(LD)、CD-ROM、DVD-ROM等；能夠采用激光1次性寫入信息、并將該信息再生的CD-R、DVD-R等；能夠反復進行信息的記錄再生的光磁盤(MO)、DVD-RAM、DVD-RW等。

在這樣的光拾波器裝置的光學體系中，為了實現(xiàn)裝置的小型化、高性能化，組裝各種各樣的光學部件而使用。例如，作為光源的激光器、衍射光柵、波長板、半反光鏡、偏光性衍射元件、物鏡等是代表性的部件的例子。

這些部件中，所謂偏光性衍射元件，是在去路透過作為直線偏光的激光而在回路不透過該激光，用于阻斷所謂的返回光的光學部件。

作為偏光性衍射元件，以往以來已知使用玻璃基板、塑料基板而制作的元件(參照專利文獻1、2)、在形成于光學各向同性基板上的有機雙折射膜上形成有衍射晶格的元件(參照專利文獻3、4)。

在這些偏光性衍射元件中，衍射晶格的各向同性材料的折射率與各向異性材料的常光折射率的差即折射率差都幾乎為0。對于偏光性衍射元件，當該折射率差為0時，具有可使透射率達到最大、可使波面收差達到最小的優(yōu)點。

另一方面，在偏光性衍射元件的制造中，有時光學特性的面內(nèi)偏差會變大。偏光衍射元件一般如下制作，即，先以具有數(shù)平方厘米以上的面積的大小進行制作，然后將其切斷成數(shù)平方毫米的大小(切片品)。在以該數(shù)平方厘米以上的面積制作的狀態(tài)下透射率、波面收差的面內(nèi)光學特性的偏差大時，會產(chǎn)生在最終形態(tài)的切片品中包含光學特性差的切片品的問題，因此需要用于將其除去的全部產(chǎn)品檢查。在此，只要偏光性衍射元件的面內(nèi)光學特性的偏差小且整面的光學特性為均質(zhì)，則在得到的切片品中不會混入光學特性差的切片品，因此無須進行全部產(chǎn)品檢查，期待使生產(chǎn)性大幅提高。因此，需求面內(nèi)偏差小且整面的光學特性為均質(zhì)的偏光性衍射元件。

此外，上述以往的偏光性衍射元件都是經(jīng)過光刻工序、蝕刻工序而制造的。

然而經(jīng)過光刻工序、蝕刻工序制造時，由于裝置的限制，作為基板僅能使用單片(枚葉)的基板。因此，只能通過所謂的分批處理來制造，所以實際情況是缺乏連續(xù)生產(chǎn)性。另外，光刻工序、蝕刻工序是以存在光致抗蝕劑、可通過蝕刻除去的材料為前提的工序，偏光性衍射元件的制造工序繁瑣，相應(yīng)地，從成本、經(jīng)濟性的觀點出發(fā)存在問題。

專利文獻1：日本特開平11-64615號公報

專利文獻2：日本特開平11-125710號公報

專利文獻3：日本特開2003-43254號公報

專利文獻4：日本特開2003-50312號公報

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的課題是提供具有高的光利用效率和高的工業(yè)生產(chǎn)性、光學特性的面內(nèi)均一性高的偏光性衍射元件。

本發(fā)明人鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)進行了精心研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)：通過將偏光性衍射元件中的、衍射晶格的各向同性材料的折射率與各向異性材料的常光折射率控制成具有微細差這樣的特定范圍，可以抑制光學特性(透射率、波面收差)的面內(nèi)偏差從而提高面內(nèi)均一性，從而完成了本發(fā)明。

即，本發(fā)明的偏光性衍射元件的特征在于，在透明基材的至少單面具有由光學各向同性材料和光學各向異性材料形成的衍射晶格層，滿足下述式(i)和(ii)。

(i)0.008≤|Nu(λ₁)-No(λ₁)|≤0.012

(ii)0.004≤|Nu(λ₂)-No(λ₂)|≤0.009

[式(i)、(ii)中，

λ₁：表示波長660nm的直線偏光性的光、

λ₂：表示波長785nm的直線偏光性的光、

Nu(λ₁)：表示在波長λ₁下光學各向同性材料的折射率、

No(λ₁)：表示在波長λ₁下光學各向異性材料的常光折射率、

Nu(λ₂)：表示在波長λ₂下光學各向同性材料的折射率、