[發(fā)明專利]垂直式探針卡

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010134525.6
• 申請(qǐng)日: 2010-03-16
• 公開（公告）號(hào): CN102193009A
• 公開（公告）日: 2011-09-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林德坤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號(hào): G01R1/067
• 分類號(hào): G01R1/067;G01R1/073;G01R31/28
• 代理公司: 北京律誠(chéng)同業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 陳紅

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明是有關(guān)于一種垂直式探針卡，特別是一種應(yīng)用垂直式探針的垂直式探針卡。

背景技術(shù)

集成電路(IC)在應(yīng)用前，需要經(jīng)過測(cè)試來驗(yàn)證其功能的完整性。集成電路的測(cè)試大都在晶片封裝前、封裝后和在焊接在線路板后進(jìn)行。

在晶片上測(cè)試集成電路的步驟大致上包含：利用探針卡(Probe?Card)接觸集成電路上的焊墊、從探針卡輸入電信號(hào)到集成電路、接收集成電路輸出的電信號(hào)。集成電路輸出的電信號(hào)為對(duì)輸入信號(hào)的響應(yīng)，輸入探針卡和集成電路的電信號(hào)一般由信號(hào)發(fā)生器(例如：自動(dòng)測(cè)試機(jī))所產(chǎn)生。透過編寫程序，自動(dòng)測(cè)試機(jī)比對(duì)從集成電路輸出的信號(hào)是否符合預(yù)設(shè)的條件，以決定此集成電路是否合格，然后選擇合格者進(jìn)行封裝。

在晶片測(cè)試的過程中，探針卡的探針是直接與芯片上的焊墊或凸塊直接接觸，引出芯片信號(hào)，之后再配合周邊測(cè)試儀器與軟件控制，來達(dá)到自動(dòng)化量測(cè)的目的。由于探針卡是晶片測(cè)試中不可或缺的重要裝置，因此，在集成電路的制造過程中，探針卡的優(yōu)劣會(huì)直接影響到晶片測(cè)試步驟的準(zhǔn)確性和流暢性，進(jìn)而影響到集成電路的制造成本。

發(fā)明內(nèi)容

因此，本發(fā)明的一目的是在提供一種垂直式探針卡，可避免掀針情況的發(fā)生，進(jìn)而增進(jìn)晶片測(cè)試步驟的流暢性。

根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，此垂直式探針卡包含探針持體和探針。此探針持體包含下導(dǎo)板、上導(dǎo)板、輔助固定片和支撐裝置。下導(dǎo)板具有第一凹陷部，此第一凹陷部具有多個(gè)第一貫穿孔。上導(dǎo)板具有第二凹陷部，此第二凹陷部具有多個(gè)第二貫穿孔。上導(dǎo)板設(shè)置于下導(dǎo)板上，如此可使第一凹陷部和第二凹陷部形成容置空間。輔助固定片設(shè)置于容置空間中，且具有多個(gè)固定孔和多個(gè)定位孔。支撐裝置設(shè)置于下導(dǎo)板上，用以支撐輔助固定片。探針穿設(shè)于探針持體中，其中每一根探針穿設(shè)于第一貫穿孔的一個(gè)、第二貫穿孔的一個(gè)和固定孔的一個(gè)中，以使探針持體支撐探針。

在本發(fā)明中，每一該些探針具有一弧狀延伸部和兩接觸端部，該弧狀延伸部位于該兩接觸端部之間，該兩接觸端部的一個(gè)穿設(shè)于該下導(dǎo)板的該些第一貫穿孔中，該兩接觸端部的另一個(gè)穿設(shè)于該上導(dǎo)板的該些第二貫穿孔中。

在本發(fā)明中，該支撐裝置包含多個(gè)支撐架，用以貫穿該輔助固定片的多個(gè)定位孔，以支撐該輔助固定片。

在本發(fā)明中，每一該些支撐架具有兩個(gè)止動(dòng)部和位于該兩止動(dòng)部間的一滑動(dòng)部，該滑動(dòng)部穿設(shè)于該定位孔中，以使該輔助固定片于該兩止動(dòng)部間滑動(dòng)。

在本發(fā)明中，該定位孔包含一嵌合部，該滑動(dòng)部的外形與該嵌合部配合。

在本發(fā)明中，所述的垂直式探針卡還包含多個(gè)扣環(huán)，其中每一該些支撐架具有平行設(shè)置的兩環(huán)狀溝槽，用以供該些扣環(huán)來卡合于該支撐架上，以使該輔助固定片夾設(shè)于該些扣環(huán)之間。較佳的，該些扣環(huán)為C型扣環(huán)。

在本發(fā)明中，該輔助固定片為麥拉片。該些探針為垂直式探針。

在本發(fā)明中，所述的垂直式探針卡還包含一墊片，設(shè)置于該上導(dǎo)板和該下導(dǎo)板間，其中該墊片具有一第三貫穿孔，用以與該第一凹陷部和該第二凹陷部形成該容置空間。

本發(fā)明的垂直式探針卡，可避免掀針情況的發(fā)生，進(jìn)而增進(jìn)晶片測(cè)試步驟的流暢性。

附圖說明

為讓本發(fā)明的上述和其它目的、特征、和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，上文特舉一較佳實(shí)施例，并配合所附附圖，作詳細(xì)說明如下：

圖1是繪示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的探針卡100的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是繪示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的探針持體的剖面爆炸圖；

圖3a是繪示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的輔助固定片的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3b是繪示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的輔助固定片與支撐裝置的結(jié)合示意圖；

圖4是繪示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的探針的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5是繪示繪示根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的探針卡的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6是繪示繪示根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的輔助固定片的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖7是繪示根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的支撐架的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖8是繪示根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的輔助固定片與支撐裝置的結(jié)合示意圖；

圖9是繪示根據(jù)本發(fā)明又一實(shí)施例的探針卡的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖10是繪示根據(jù)本發(fā)明又一實(shí)施例的輔助固定片的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖11是繪示根據(jù)本發(fā)明又一實(shí)施例的支撐裝置的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖12是繪示根據(jù)本發(fā)明又一實(shí)施例的輔助固定片與支撐裝置的結(jié)合示意圖。

【主要組件符號(hào)說明】

100：探針卡???????????????110：探針

110a：接觸端部????????????110b：弧狀延伸部