[發明專利]直拉單晶爐石墨坩堝無效
| 申請號： | 201010134461.X | 申請日： | 2010-03-29 |
| 公開（公告）號： | CN102206855A | 公開（公告）日： | 2011-10-05 |
| 發明（設計）人： | 周儉 | 申請（專利權）人： | 上海杰姆斯電子材料有限公司 |
| 主分類號： | C30B15/10 | 分類號： | C30B15/10 |
| 代理公司： | 北京元中知識產權代理有限責任公司 11223 | 代理人： | 曲艷 |
| 地址： | 201600 上海市松*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 直拉單晶爐 石墨 坩堝 | ||
【權利要求書】：
1.一種直拉單晶爐石墨坩堝，包括石墨坩堝本體(1)，其特征在于：在所述石墨坩堝本體(1)的側壁上設置有多個貫穿所述石墨坩堝本體(1)壁厚的第一通孔(2)，在每個所述第一通孔(2)中插入一個石墨環(3)，在所述石墨環(3)的中心再開有貫穿的第二通孔(4)。
2.根據權利要求1所述的直拉單晶爐石墨坩堝，其特征在于：所述第一通孔(2)的橫斷面為內大外小的梯形。
3.根據權利要求1所述的直拉單晶爐石墨坩堝，其特征在于：所述第二通孔(4)的直徑為2-8mm。
4.根據權利要求3所述的直拉單晶爐石墨坩堝，其特征在于：所述第二通孔(4)的直徑為3-5mm。
5.根據權利要求1至4任一項所述的直拉單晶爐石墨坩堝，其特征在于：在所述石墨坩堝本體(1)的各瓣體上都均勻設置多個石墨環(3)。
6.根據權利要求5所述的直拉單晶爐石墨坩堝，其特征在于：所述石墨環(3)均勻設置在所述石墨坩堝本體(1)側壁底部的圓弧R處和/或設置在所述側壁的直壁部分。
7.根據權利要求6所述的直拉單晶爐石墨坩堝，其特征在于：所述設置在圓弧R處的石墨環(3)與設置在直壁部分的石墨環(3)相互錯開設置。
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