[發明專利]熱電分離的金屬載芯片板無效
| 申請號: | 201010133731.5 | 申請日: | 2010-03-15 |
| 公開(公告)號: | CN102194790A | 公開(公告)日: | 2011-09-21 |
| 發明(設計)人: | 王湘華 | 申請(專利權)人: | 王湘華 |
| 主分類號: | H01L23/498 | 分類號: | H01L23/498;H01L23/34;H01L21/48;H01L33/62;H01L33/64 |
| 代理公司: | 北京科龍寰宇知識產權代理有限責任公司 11139 | 代理人: | 孫皓晨 |
| 地址: | 中國臺*** | 國省代碼: | 中國臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 熱電 分離 金屬 芯片 | ||
1.一種熱電分離的金屬載芯片板結構,至少包含有:
一散熱基板,在其一側平面設有較凹下的承載區以及相對凸出的銜接部;
一介電層,是在所述的散熱基板上以轉化被覆(Conversion?Coating)方式所形成的化合物,并覆設在散熱基板的承載區,且所述的介電層在散熱基板的銜接部的位置形成了窗口狀的導熱區,且所述的導熱區與散熱基板的銜接部相對應設置;
一電性導通層,設在介電層上。
2.根據權利要求1所述的熱電分離的金屬載芯片板結構,其特征在于:所述的散熱基板為鋁材基板。
3.根據權利要求1所述的熱電分離的金屬載芯片板結構,其特征在于:所述的導熱區為復數個。
4.根據權利要求1所述的熱電分離的金屬載芯片板結構,其特征在于:所述的導熱區為長條形。
5.根據權利要求1所述的熱電分離的金屬載芯片板結構,其特征在于:所述的導熱區為方形。
6.根據權利要求1所述的熱電分離的金屬載芯片板結構,其特征在于:在所述的散熱基板的銜接部上涂設有半導體導熱膠。
7.根據權利要求1所述的熱電分離的金屬載芯片板結構,其特征在于:所述的導熱區位置設置有芯片。
8.根據權利要求1所述的熱電分離的金屬載芯片板結構,其特征在于:所述的銜接部上覆設有濺鍍層。
9.根據權利要求1所述的熱電分離的金屬載芯片板結構,其特征在于:所述的介電層與電性導通層間設有濺鍍層。
10.根據權利要求1所述的熱電分離的金屬載芯片板結構,其特征在于:所述的散熱基板的導熱區是幾何形狀。
11.一種熱電分離的金屬載芯片板制造方法,其特征在于,其步驟有:
(1)制作一金屬散熱基板,并在所述的散熱基板的一部分位置涂上遮蔽層;
(2)將散熱基板上無遮蔽層的部分,以轉化被覆(Conversion?Coating)方式形成一定深度的介電層,并使所述的介電層在散熱基板上圍成有至少一個導熱區,用來放置芯片;而散熱基板相對于導熱區形成有銜接部;
(3)去掉遮蔽層,并整平散熱基板的表面;
(4)在散熱基板的銜接部上,涂設半導體導熱膠,并在所述的介電層上布設電性導通層;
(5)銜接部的半導體導熱膠上方設置芯片,并與電性導通層作導線跨距聯接,使導熱和導電能因經由不同路徑導體分離。
12.根據權利要求11所述的熱電分離的金屬載芯片板制造方法,其特征在于:所述的介電層為陽極氧化鋁(即AAO)。
13.根據權利要求11所述的熱電分離的金屬載芯片板制造方法,其特征在于:第(3)步驟的整平散熱基板的表面之后,插入有涂設濺鍍層的程序。
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